本发明公开一种多晶硅渣浆沉降装置，包括沉降罐和沉降机构。沉降罐开设有进料法兰口、出料法兰口和出清液法兰口。进料法兰口位于沉降罐的侧壁上，供渣浆进料。出料法兰口位于沉降罐的罐底上，供沉降分离的硅粉出料。出清液法兰口位于沉降罐的侧壁上，且其位置高于进料法兰口，供分离硅粉后的清液流出。沉降机构设置于沉降罐内部，并位于进料法兰口和出清液法兰口之间，沉降机构具有多条上下贯通的流道，流道倾斜设置，用于供渣浆流通并将渣浆的液流分隔为多个薄层，使每个渣浆薄层中的硅粉沿着倾斜的流道壁聚集沉降，并落到沉降罐底部，以分离出硅粉。因此，本多晶硅渣浆沉降装置能够使渣浆中的硅粉快速沉降，以提高清液与硅粉的分离效率。