发明公开
CN115380195A 干涉形状测量的测量设备
审中-实审
- 专利标题： 干涉形状测量的测量设备
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申请号： CN202180028436.X申请日： 2021-02-12
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公开(公告)号： CN115380195A公开(公告)日： 2022-11-22
- 发明人: J.赫茨勒
- 申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址： 德国上科亨
- 专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址： 德国上科亨
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 王蕊瑞
- 优先权： 102020201958.4 20200217 DE
- 国际申请： PCT/EP2021/053528 2021.02.12
- 国际公布： WO2021/165159 DE 2021.08.26
- 进入国家日期： 2022-10-13
- 主分类号： G01B11/24
- IPC分类号： G01B11/24 ; G01B9/02015 ; G01M11/00 ; G02B7/182
摘要：
本发明涉及用于测试物(14‑1；14‑2)的表面(12)的干涉形状测量的测量设备(10)，该测量设备包括：衍射式光学元件(26‑1；26‑2)，用于从已经辐射进入的测量辐射(18)产生测试波(28)，该测试波被配置为辐射到测试物的表面上；偏转元件(22)，在测量辐射的束路径中衍射式光学元件的上游，以及用于保持偏转元件的保持装置(24，124)，该保持装置被配置为通过倾斜运动和平移运动的组合来改变偏转元件(22)的位置。