Invention Publication
- Patent Title: 沉积薄膜的方法和设备、薄膜以及太阳能电池
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Application No.: CN202211164982.9Application Date: 2022-09-23
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Publication No.: CN115404464APublication Date: 2022-11-29
- Inventor: 廖宝臣 , 李翔 , 黎微明
- Applicant: 江苏微导纳米科技股份有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2
- Assignee: 江苏微导纳米科技股份有限公司
- Current Assignee: 江苏微导纳米科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 李婷
- Main IPC: C23C16/515
- IPC: C23C16/515 ; H01L31/0216
Abstract:
本公开涉及沉积薄膜的方法和设备、薄膜以及太阳能电池。根据本公开的一实施例，一种沉积薄膜的方法包括：提供具有第一表面的基板；以及通过多个脉冲步骤对所述基板的所述第一表面施加至少一种化学反应物，以在所述第一表面上沉积薄膜。所述沉积薄膜的方法可以提供高质量的薄膜，从而提高包括所述薄膜的硅光伏的能量转换效率。
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