一种半导体镀膜设备
摘要:
本发明公开了一种半导体镀膜设备,属于镀膜设备技术领域;一种半导体镀膜设备,包括:底座和控制装置,所述控制装置固定安装在底座上表面;镀膜装置;所述镀膜装置上设有多个输出端口,多个所述输出端口上均设有电磁阀,所述镀膜装置前表面水平固定设置有传感器;紧固组件,所述紧固组件包括吸盘、筒体、转动部件和气动部件;输送部件,所述输送部件用于带动多组紧固组件移动;下拉组件,所述下拉组件用于带动气动部件运转;本发明有效解决了目前的半导体镀膜设备,多为单一工作模式,在镀膜时,需要将半导体材料固定在设备的夹具上,在镀膜结束后,再将半导体取下,进行下一个半导体的镀膜,效率低下的问题。
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