发明授权
- 专利标题: 一种半导体镀膜设备
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申请号: CN202211108179.3申请日: 2022-09-13
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公开(公告)号: CN115410959B公开(公告)日: 2023-04-07
- 发明人: 杨创华 , 王官奇 , 蒋媛 , 王楠
- 申请人: 陕西理工大学
- 申请人地址: 陕西省汉中市汉台区东一环路1号
- 专利权人: 陕西理工大学
- 当前专利权人: 陕西理工大学
- 当前专利权人地址: 陕西省汉中市汉台区东一环路1号
- 代理机构: 北京保识知识产权代理事务所
- 代理商 刘元
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/683
摘要:
本发明公开了一种半导体镀膜设备,属于镀膜设备技术领域;一种半导体镀膜设备,包括:底座和控制装置,所述控制装置固定安装在底座上表面;镀膜装置;所述镀膜装置上设有多个输出端口,多个所述输出端口上均设有电磁阀,所述镀膜装置前表面水平固定设置有传感器;紧固组件,所述紧固组件包括吸盘、筒体、转动部件和气动部件;输送部件,所述输送部件用于带动多组紧固组件移动;下拉组件,所述下拉组件用于带动气动部件运转;本发明有效解决了目前的半导体镀膜设备,多为单一工作模式,在镀膜时,需要将半导体材料固定在设备的夹具上,在镀膜结束后,再将半导体取下,进行下一个半导体的镀膜,效率低下的问题。
公开/授权文献
- CN115410959A 一种半导体镀膜设备 公开/授权日:2022-11-29
IPC分类: