发明公开
- 专利标题: 一种贴片式电极及制备方法和材料导热率测试方法
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申请号: CN202210960719.4申请日: 2022-08-11
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公开(公告)号: CN115436422A公开(公告)日: 2022-12-06
- 发明人: 李灏 , 翟玉卫 , 刘岩 , 赵丽 , 丁立强 , 吴爱华
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 付晓娣
- 主分类号: G01N25/20
- IPC分类号: G01N25/20 ; H01L23/544
摘要:
本申请适用于半导体材料热物性测试技术领域,提供了一种贴片式电极及制备方法和材料导热率测试方法,上述贴片式电极包括:金属条带,所述金属条带呈Π字形;加电焊盘和测试采样焊盘,设置于所述金属条带上;其中,将所述贴片式电极与待测材料贴合后,通过加电设备向所述加电焊盘施加频率为ω的交流电流,通过采集设备与所述测试采样焊盘连接以采集频率为3ω的谐波电压。上述贴片式电极应用于通过3ω测试方法对芯片进行导热率测试的工作场景,提升了对芯片使用3ω方法进行导热率测试的便捷性和泛用性。