一种贴片式电极及制备方法和材料导热率测试方法
摘要:
本申请适用于半导体材料热物性测试技术领域,提供了一种贴片式电极及制备方法和材料导热率测试方法,上述贴片式电极包括:金属条带,所述金属条带呈Π字形;加电焊盘和测试采样焊盘,设置于所述金属条带上;其中,将所述贴片式电极与待测材料贴合后,通过加电设备向所述加电焊盘施加频率为ω的交流电流,通过采集设备与所述测试采样焊盘连接以采集频率为3ω的谐波电压。上述贴片式电极应用于通过3ω测试方法对芯片进行导热率测试的工作场景,提升了对芯片使用3ω方法进行导热率测试的便捷性和泛用性。
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