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公开(公告)号：CN113624358B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202110803448.7
申请日：2021-07-14
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要： 本发明提供一种用于光热反射显微热成像的三维位移补偿方法及控制装置。该方法包括：获取被测件位于待补偿位置时的采集图像，及被测件位于参考位置时的参考图像；根据参考图像计算得到第一傅里叶变换，根据采集图像计算得到第二傅里叶变换；根据第一傅里叶变换和第二傅里叶变换，确定光热反射显微热成像装置中光学子系统的点扩散函数的峰值点坐标和拟合直径；根据峰值点坐标、拟合直径和光热反射显微热成像装置中光学子系统的成像参数，计算被测件位于待补偿位置时相对于参考位置的三维位移量，以对被测件进行三维位移补偿。本发明能够同时计算被测件位于待补偿位置时相对于参考位置的三维位移量，进而提高位移补偿的工作效率。
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公开(公告)号：CN112525385B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202011134908.3
申请日：2020-10-21
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K15/00
摘要： 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种热阻测量仪器校准系统，包括：校温装置、测温装置、上位机和热阻标准件；校温装置用于控制热阻标准件处于预设温度下，向热阻标准件输入预设测试电流，并测量热阻标准件的第一结电压；测温装置用于向热阻标准件输入预设工作电流，待热阻标准件的结温稳定后，测量热阻标准件的第二结电压；上位机用于根据预设温度、第一结电压、第二结电压确定热阻标准件的标准热阻值，标准热阻值用于对热阻测量仪器进行校准。本发明利用已标定准确热阻值的热阻标准件对热阻测量仪器进行校准，能够解决现有技术中的热阻测量仪器测量结果准确度低、一致性差的问题。
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公开(公告)号：CN112097949B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202010797316.3
申请日：2020-08-10
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K11/00
摘要： 本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种光热反射测温方法及装置，所述方法包括：控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；控制被测件的温度升高ΔT0，在被测件温度改变的同时向被测件通入电流，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第二反射率；控制通电被测件的温度降低ΔT0，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第三反射率；基于第一反射率、第二反射率和第三反射率确定被测件的温度变化量。本发明能够一次性测量被测件的温度变化量，节省电流周期性变化时等待被测件温度稳定所需的时间，提高测量效率。
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公开(公告)号：CN112097950B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202010849570.3
申请日：2020-08-21
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K11/00
摘要： 本发明提供了一种基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备，该方法包括：获取第一温度的待测件在第一波长下的第一探测值、以及在第二波长下的第二探测值，确定第一探测比；获取第二温度的待测件在第一波长下的第三探测值、以及在第二波长下的第四探测值，确定第二探测比；基于第一探测比和第二探测比确定第一求解系数，基于第一求解系数确定第二求解系数；获取未知当前温度的待测件在第一波长下的第五探测值、以及在第二波长下的第六探测值，确定第三探测比，基于第一求解系数、第二求解系数以及第三探测比确定待测件的当前温度。本发明提供的基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备能够提高温度测量精度。
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公开(公告)号：CN113962876A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110832665.9
申请日：2019-07-17
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G06T5/00
摘要： 本发明适用于校正技术领域，提供了一种像素畸变的校正方法、校正装置、终端及计算机可读存储介质，所述校正方法包括：获取被测目标的多帧图像，分别获取每帧图像上对应于指定像素位置的像素点的像素值，得到多个像素值，确定所述多个像素值的基准像素值，基于所述基准像素值对所述指定像素位置对应的像素点的像素值进行畸变校正。本发明能够提高测量的被测目标的多帧图像在指定像素位置对应的像素点的像素值的准确性。
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公开(公告)号：CN110335219B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201910645948.5
申请日：2019-07-17
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G06T5/00
摘要： 本发明适用于校正技术领域，提供了一种像素畸变的校正方法、校正装置、终端及计算机可读存储介质，所述校正方法包括：获取被测目标的多帧图像，分别获取每帧图像上对应于指定像素位置的像素点的像素值，得到多个像素值，确定所述多个像素值的基准像素值，基于所述基准像素值对所述指定像素位置对应的像素点的像素值进行畸变校正。本发明能够提高测量的被测目标的多帧图像在指定像素位置对应的像素点的像素值的准确性。
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公开(公告)号：CN109470365B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201811313600.8
申请日：2018-11-06
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01J5/00
摘要： 本发明提供了一种校准显微红外热像仪的器件，包括：衬底、用于测量所述衬底上表面温度的温度传感器和用于所述显微红外热像仪测量温度的目标区域；所述衬底上设有所述温度传感器和所述目标区域，所述温度传感器与温度测量装置相连，所述温度传感器和所述温度测量装置共同完成对衬底温度的测量。通过温度传感器和温度测量装置获得衬底的温度，得到标准温度，利用显微红外热像仪测得的目标区域的温度，得到测量温度，通过比较标准温度和测量温度，以校准显微红外热像仪。
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公开(公告)号：CN112097950A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010849570.3
申请日：2020-08-21
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K11/00
摘要： 本发明提供了一种基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备，该方法包括：获取第一温度的待测件在第一波长下的第一探测值、以及在第二波长下的第二探测值，确定第一探测比；获取第二温度的待测件在第一波长下的第三探测值、以及在第二波长下的第四探测值，确定第二探测比；基于第一探测比和第二探测比确定第一求解系数，基于第一求解系数确定第二求解系数；获取未知当前温度的待测件在第一波长下的第五探测值、以及在第二波长下的第六探测值，确定第三探测比，基于第一求解系数、第二求解系数以及第三探测比确定待测件的当前温度。本发明提供的基于光热反射的温度测量方法、装置及终端设备能够提高温度测量精度。
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公开(公告)号：CN112097949A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010797316.3
申请日：2020-08-10
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K11/00
摘要： 本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种光热反射测温方法及装置，所述方法包括：控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；控制被测件的温度升高ΔT0，在被测件温度改变的同时向被测件通入电流，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第二反射率；控制通电被测件的温度降低ΔT0，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第三反射率；基于第一反射率、第二反射率和第三反射率确定被测件的温度变化量。本发明能够一次性测量被测件的温度变化量，节省电流周期性变化时等待被测件温度稳定所需的时间，提高测量效率。
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公开(公告)号：CN107976263B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201711137052.3
申请日：2017-11-16
申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC分类号： G01K11/00
摘要： 本发明公开了一种光热反射测试方法及系统，属于温度测试技术领域，包括步骤：对待测区域进行光热反射系数CTR校准；对不同波长光源的出射光进行调制，并将经过调制的出射光投射到待测区域；探测器接收待测区域的反射光，并将反射光解调，得到不同波长反射光的信号；对不同波长的反射光的信号进行计算，得到温度测试信息。本发明利用多个波长出射光同时对包括多种不同材料的待测区域进行温度测量，根据不同材料的特性选取CTR最大的波长用于测温，减小同时测量多种材料的情况下的CTR损失，提高光热反射测温准确度，以及测温效率。
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