发明授权
- 专利标题： 一种探针卡行程测量系统和方法
-
申请号： CN202211077220.5申请日： 2022-09-05
-
公开(公告)号： CN115469203B公开(公告)日： 2023-09-19
- 发明人: 梁建 , 罗雄科
- 申请人： 上海泽丰半导体科技有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区翠波路201、221号1幢4层404室
- 专利权人： 上海泽丰半导体科技有限公司
- 当前专利权人： 上海泽丰半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区翠波路201、221号1幢4层404室
- 代理机构： 北京清大紫荆知识产权代理有限公司
- 代理商 黎飞鸿; 郑纯
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; G01R1/073
摘要：
本发明提供一种探针卡行程测量系统，可应用于晶圆测试系统，其所述探针卡包括：多根探针构成的探针头；可安装于所述探针卡的测量探针，所述测量探针设置为不可回弹的可伸缩机构，使得所述测量探针与所述待测量探针的高度差构成有效行程值。本发明还提供一种探针卡行程测量系统以及晶圆测试系统。本发明用于分析误差来源和控制误差，从而保证探针与晶圆的有效接触，从而保证晶圆测试良率及可靠性。
公开/授权文献
- CN115469203A 一种探针卡行程测量系统和方法 公开/授权日：2022-12-13
