发明授权
- 专利标题: 一种真空抗磁悬浮力探测器及其应用方法
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申请号: CN202211461196.5申请日: 2022-11-16
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公开(公告)号: CN115493726B公开(公告)日: 2023-05-05
- 发明人: 熊芳 , 吴通 , 郭磊磊
- 申请人: 之江实验室
- 申请人地址: 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部
- 专利权人: 之江实验室
- 当前专利权人: 之江实验室
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 林松海
- 主分类号: G01L1/00
- IPC分类号: G01L1/00 ; G01L9/14 ; G06F30/17 ; G06F30/20
摘要:
本发明公开了一种真空抗磁悬浮力探测器及其应用方法。真空抗磁悬浮力探测器包括:磁悬浮势阱、悬浮机械摆、真空腔、探测光路及外围电路;所述悬浮机械摆上端为抗磁材料,位于磁势阱中,为悬浮机械摆提供悬浮力,下端通过小杆与上端相连,小杆穿过磁悬浮势阱通孔,下端露出磁悬浮势阱;真空腔包括温控系统、多级隔振系统,以及信号发生与处理模块、探测模块;温控系统使得真空腔保持恒温,多级隔振系统用于隔绝外界振动干扰,信号发生与处理模块用于调制解调力信号,探测模块用于探测所述悬浮机械摆的运动。本发明对一些短程力的探测具有重要应用价值,亦可对原子力显微镜进行改进,悬浮机械振子比AFM采用的悬臂梁结构具有更高的灵敏度。
公开/授权文献
- CN115493726A 一种真空抗磁悬浮力探测器及其应用方法 公开/授权日:2022-12-20