本发明公开了一种栅状空气沟道晶体管及其制备方法，包括电极一、介质层一、电极二、介质层二、栅阻挡介质、电极三、基板以及沟道，电极一、介质层一、电极二、介质层二、电极三、基板依次从上至下设置，沟道贯穿电极一、介质层一、电极二、介质层二，多个所述沟道使各层薄膜形成栅状结构，所述栅阻挡介质与所述电极二位于同层。本发明增加栅极阻挡层介质结构，有效减小栅极泄露电流；多个沟道形成栅状结构有效增加电子发射面积，提升同等尺寸晶体管的沟道电流。