本发明公开了晶圆背洗吸附装置，包括支撑环和圆环板，在固定槽支撑环中心设置电机防水保护罩；在固定槽支撑环与固定槽电机防水保护罩之间设置多组连接臂；在固定槽支撑环与每个固定槽连接臂的连接处设置一真空嘴，固定槽真空嘴和固定槽连接臂之间连通形成真空通道，且固定槽真空嘴向上凸出于固定槽支撑环，用于对放置于固定槽真空嘴上方的晶圆方片进行吸附。本发明可使晶圆背部中心不被遮挡，进行背洗作业，实现晶圆背部清洗，并且能够对晶圆进行一定范围内移动，从而能够实现对真空嘴的真空吸附点位进行二次背洗，从而真正意义实现晶圆背部无死角清洗。