平面多级衍射热成像透镜的生产方法
摘要:
本发明提供了一种平面多级衍射热成像透镜的生产方法,涉及衍射透镜技术领域,采用超声模压技术相比于硅片透镜的光刻、刻蚀、沉积技术成本更低,且有批量化生产效益,能够运用于民生领域,硫系玻璃材料相比于单晶锗和高分子材料在长波红外辐射波段具有更高的透射率,并且材料本身成本更低廉,在模压工艺中采用超声方法引入高应变率,降低硫系玻璃的黏度,同时有效降低模压温度,硫系玻璃黏度的降低有助于残余应力的消除,保证硫系玻璃不会碎裂,模压温度降低能够有效抑制硫系玻璃材料中硫硒元素的挥发,缓解了现有技术中存在的衍射透镜制造成本较高,使用硫系玻璃在传统的模压下会发生破裂,成品率低下的技术问题。
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