一种带有应变超晶格结构的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种带有应变超晶格结构的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法,由下至上依次包括衬底、缓冲层、下过渡层、下限制层、下波导层、(Ala1Ga1‑a1)b1In1‑b1P/(Ala1Ga1‑a1)b2In1‑b2P应变超晶格、第一量子阱、垒层、第二量子阱、上波导层、第一上限制层、腐蚀终止层、第二上限制层、上过渡层和GaAs帽层;本发明AlGaInP渐变波导层生长后,插入应变超晶格结构,提升材料生长质量,抑制界面非辐射复合,从而降低阈值电流,提高老化特性。
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