- 专利标题: 一种带有应变超晶格结构的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法
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申请号: CN202110710538.1申请日: 2021-06-25
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公开(公告)号: CN115528542A公开(公告)日: 2022-12-27
- 发明人: 刘飞 , 张新 , 张东东
- 申请人: 山东华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历下区高新区天辰大街1835号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 杨树云
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/343 ; C23C16/30 ; C23C16/52 ; C30B29/68 ; C30B29/40 ; C30B25/16
摘要:
本发明涉及一种带有应变超晶格结构的AlGaInP红光半导体激光器件及其制备方法,由下至上依次包括衬底、缓冲层、下过渡层、下限制层、下波导层、(Ala1Ga1‑a1)b1In1‑b1P/(Ala1Ga1‑a1)b2In1‑b2P应变超晶格、第一量子阱、垒层、第二量子阱、上波导层、第一上限制层、腐蚀终止层、第二上限制层、上过渡层和GaAs帽层;本发明AlGaInP渐变波导层生长后,插入应变超晶格结构,提升材料生长质量,抑制界面非辐射复合,从而降低阈值电流,提高老化特性。