本发明提供一种柔性薄壁弯管内壁化学机械抛光装备与方法，包括执行部和驱动箱。执行部包括万向节，精抛轮，粗抛轮和保持架，执行部用于伸入管道内壁进行抛光。驱动箱包括控制系统、主轴、主轴电机、抛光液输出系统和用于调节主轴行程的主轴电机移动装置，驱动箱用于提供抛光动力，存储和泵送化学机械抛光液，设置抛光参数。执行部通过万向节柔性连接，顺应弯管曲线，避免折弯处过抛。通过设置保持架确保抛光轴线与弯管轴线重合，确保抛光的均匀性和一致性，避免薄壁管破损。通过主轴电机和丝杠电机联动驱动粗抛轮和精抛轮在管道内旋转和往复运动以及结合化学机械抛光液的作用，大幅提高了抛光后管道内壁的质量。