一种多场协同辅助高纯石英砂气液包裹体深度去除装备

    公开(公告)号:CN118908227A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410974567.2

    申请日:2024-07-19

    Abstract: 本发明公开了一种多场协同辅助高纯石英砂气液包裹体深度去除装备,包括机架、工作台机构、超声振动台、装料机构、控制系统、激光和红外光系统、旋转伸缩主轴和温控系统。本发明设计的装备通过温度场的作用,使石英砂保持高能量状态,通过超声场的作用,使石英砂间产生碰撞摩擦并进一步提升内部活化能,通过红外光场的作用,进一步提升气液包裹体的内能,再通过激光场对石英砂瞬间的激化,促进含有气液包裹体的石英砂从内部炸裂。多场协同作用增加石英砂颗粒爆裂的概率,使气液包裹体从中溢出,既增加了气液包裹体去除的效果,又提升了去除的效率,从根本上实现高纯石英砂气液包裹体高质高效深度去除的目标。

    一种增材制造槽道热管内壁的纳米多相射流复合抛光装置及方法

    公开(公告)号:CN115709439B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202211371818.5

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本发明提供一种增材制造槽道热管内壁的纳米多相射流复合抛光装置及方法。装置包括空气压缩机装置、微电脑射流控制装置、多相射流喷头装置、增材制造热管装置和抛光液配比装置,空气压缩机装置用于为整个抛光装置提供高压气源,并将高压气体输送到多相射流喷头装置中;抛光液配比装置用于产生液固抛光液,并将抛光液输送到多相射流喷头装置中;多相射流喷头装置用于实现液固抛光液与高压气体的充分混合雾化,并将形成的气液固多相射流喷射到增材制造热管装置中;微电脑射流控制装置用于对高压气体和抛光液的流量进行调节。本发明可实现大长径比管道内壁的抛光一致性。

    一种微纳气泡辅助多能场耦合复杂曲面化学机械抛光装备及加工方法

    公开(公告)号:CN118699891A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202411194791.6

    申请日:2024-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种微纳气泡辅助多能场耦合复杂曲面化学机械抛光装备,包括床身、主轴系统、滚桶系统及数控系统;主轴系统包括用于夹持待抛光工件的夹具和用于调整夹具空间位姿的主轴,滚桶系统的滚桶内加入抛光液;还包括微纳气泡系统和超声系统;微纳气泡系统用于向滚桶内通入微纳气泡;超声系统用于使滚桶系统的滚桶进行超声振动;数控系统连接并控制主轴系统、滚桶系统、微纳气泡系统及超声系统。本发明通过设置微纳气泡系统和超声系统,利用微纳气泡增大抛光液中磨粒与待抛光工件的作用面积,并利用微纳气泡系统和超声系统提高抛光液中磨粒的机械效能和化学效能,促进抛光过程中机械去除与化学腐蚀的协同作用,实现提高抛光效率。

    一种单晶硅亚埃级超低损伤表面抛光用的绿色环保抛光液及应用

    公开(公告)号:CN117844379A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202410006551.2

    申请日:2024-01-02

    Abstract: 本发明提供一种单晶硅亚埃级表面抛光用的绿色环保抛光液及应用。本发明包括磨粒、还原剂、分散剂、增稠剂、pH调节剂和去离子水,其中,磨粒为氧化铈和氧化硅中的任一种或相互任意组合;还原剂为碳酸亚铁、过氧化氢、氧化铁和氢气中的至少一种;分散剂为焦磷酸钠、六偏磷酸钠、山梨醇和聚乙二醇中的至少一种;增稠剂为羧甲基纤维素钠、果胶、黄原胶、瓜尔胶、刺槐豆胶和卡拉胶中的至少一种;pH调节剂为食用碱、小苏打和三乙醇胺中至少的一种,通过,pH调节剂将抛光液的pH调至8‑11。上述成分的抛光液,加工过程中通过柔和的化学腐蚀与机械划擦耦合作用,对单晶硅表面进行超光滑超低损伤抛光,抛光后,单晶硅可获得比纳米级更优异的亚埃级表面。

    一种基于纳克能的齿轮表面超精密加工装置及方法

    公开(公告)号:CN117381069A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311595507.1

    申请日:2023-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种基于纳克能的齿轮表面超精密加工装置及方法。本发明包括工作平台、运动模块和加工模块,所述运动模块的底部和加工模块的底部均安装在工作平台上,所述运动模块用于调整加工模块的高度,所述加工模块包括超声刀柄机构、模具、装夹机构和位置调整机构,待加工的工件与超声刀柄机构安装后能够放置在模具中,所述模具安装在装夹机构上,所述装夹机构设置在位置调整机构上,所述模具根据待加工零件的外形随形设计,所述模具中设置有纳米级的磁流变液,所述装夹机构为电磁铁,还包括有用于调节磁场的大小及方向,进而控制磁流变液中磁性颗粒的运动的变频器。本发明极大的提高了零件的超精密加工效率,提高了零件的表面质量。

    一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法

    公开(公告)号:CN117103105A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310963066.X

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明提供一种用于大批量加工微小型轴承挡片的化学机械抛光设备及方法,包括夹具体以及与夹具配套使用的工作台体,夹具体中设有中空腔室,所述夹具体具有若干圆周均匀分布的小孔,且小孔中还具有连接中空腔室的抽真空通道,通过对中空腔室抽真空的方式完成夹具体的小孔对待抛光轴承挡片的装夹,所述夹具体外轮廓为轮齿结构,所述工作台体为具有内齿轮结构的抛光台,传动装置与抛光台相连。本发明解决了微小轴承挡片抛光时难以夹持的问题,夹具体可一次性装夹300~400甚至更多微小型轴承挡片,满足了该型轴承挡片大批量加工的生产需求,两夹具体交接过程简单准确,大大缩短工件装夹时间,有效提高加工效率。

    一种磁力超声辅助多工位剪切增稠抛光装置、抛光液及抛光方法

    公开(公告)号:CN116442107A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310367017.X

    申请日:2023-04-07

    Abstract: 本发明提供一种磁力超声辅助多工位剪切增稠抛光装置、抛光液及抛光方法。本发明包括机箱、龙门导轨模块、夹持模块、抛光模块和磁力模块,龙门导轨模块固定在工作台上,导轨可沿着龙门架进行升降运动,夹持模块用于夹持待抛光工件,夹持模块根据不同工件的曲面特性进行更换,实现多种、多个工件的同时抛光,夹持模块与龙门导轨模块的导轨相连,使得其可随导轨一起做升降运动,抛光模块用于放置抛光液,实现对工件的抛光,磁力模块放置有强力磁铁,磁力模块套接于抛光模块外部,强力磁铁设置于与夹持机构位置相对应的位置,其用于引导抛光液中的金属粉末包围在工件周围。本发明可实现对复杂曲面工件高效、高质量、高均匀度、无污染、低成本的抛光。

    石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法

    公开(公告)号:CN113523968B

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202110904166.6

    申请日:2021-08-06

    Abstract: 本发明提供一种石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法,装备包括:数控微纳移动旋转工作台、磨削装置和激光辅助加工装置,谐振子固定装夹在数控微纳移动旋转工作台上,绕Z轴进行回转,并进行连续圆周进给运动,沿Z轴前后移动,磨削装置沿C轴旋转及沿C轴前后移动,对谐振子上不同区域进行超声振动辅助磨削加工,激光辅助加工装置与C轴成一定偏角,对谐振子上即将加工表面辅助加热。本发明采用的球形磨头是陶瓷结合剂掺杂氧化铈的金刚石砂轮,磨头杆通过超声波换能器和变幅器与气浮主轴连接实现超声辅助加工,磨削过程中采用CO2激光束实现激光辅助加工,从而利用超声振动辅助和激光辅助实现谐振子的磨削、精密磨削和超精密磨削。

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