发明公开
- 专利标题: 一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法
-
申请号: CN202211163114.9申请日: 2022-09-23
-
公开(公告)号: CN115541045A公开(公告)日: 2022-12-30
- 发明人: 蒲健 , 陈茂 , 冯江涛 , 池波
- 申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区辽河路901号
- 专利权人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
- 当前专利权人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区辽河路901号
- 代理机构: 常州市夏成专利事务所
- 代理商 张经纶
- 主分类号: G01K7/18
- IPC分类号: G01K7/18
摘要:
本发明涉及传感器的技术领域,尤其涉及一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器,包括氧化铝基底,设置于氧化铝基底上的过渡层,设置于过渡层上的第一粘附层,设置于第一粘附层上的铂薄膜电阻层,设置于铂薄膜电阻层上的第二粘附层,设置于第二粘附层上的中间保护层,设置于中间保护层上的玻璃密封层,设置于玻璃密封层上的陶瓷保护层,设置于铂薄膜电阻层上的铂焊盘和铂引线,设置于铂焊盘和铂引线上的焊点保护层,设置于焊点保护层与陶瓷保护层上的封装玻璃层。通过多层结构设计,提高了传感器各层之间的结合力,改善了铂薄膜电阻层的应力状态,提升了传感器的精度,拓宽了其温度测量范围,并使其能在机械振动和热振等恶劣工况下正常工作。