一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法
摘要:
本发明涉及传感器的技术领域,尤其涉及一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器,包括氧化铝基底,设置于氧化铝基底上的过渡层,设置于过渡层上的第一粘附层,设置于第一粘附层上的铂薄膜电阻层,设置于铂薄膜电阻层上的第二粘附层,设置于第二粘附层上的中间保护层,设置于中间保护层上的玻璃密封层,设置于玻璃密封层上的陶瓷保护层,设置于铂薄膜电阻层上的铂焊盘和铂引线,设置于铂焊盘和铂引线上的焊点保护层,设置于焊点保护层与陶瓷保护层上的封装玻璃层。通过多层结构设计,提高了传感器各层之间的结合力,改善了铂薄膜电阻层的应力状态,提升了传感器的精度,拓宽了其温度测量范围,并使其能在机械振动和热振等恶劣工况下正常工作。
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