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公开(公告)号：CN115541045A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211163114.9
申请日：2022-09-23
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号： G01K7/18
摘要： 本发明涉及传感器的技术领域，尤其涉及一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器，包括氧化铝基底，设置于氧化铝基底上的过渡层，设置于过渡层上的第一粘附层，设置于第一粘附层上的铂薄膜电阻层，设置于铂薄膜电阻层上的第二粘附层，设置于第二粘附层上的中间保护层，设置于中间保护层上的玻璃密封层，设置于玻璃密封层上的陶瓷保护层，设置于铂薄膜电阻层上的铂焊盘和铂引线，设置于铂焊盘和铂引线上的焊点保护层，设置于焊点保护层与陶瓷保护层上的封装玻璃层。通过多层结构设计，提高了传感器各层之间的结合力，改善了铂薄膜电阻层的应力状态，提升了传感器的精度，拓宽了其温度测量范围，并使其能在机械振动和热振等恶劣工况下正常工作。
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公开(公告)号：CN114807859B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202210262581.0
申请日：2022-03-17
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要： 本发明涉及薄膜制备的技术领域，尤其涉及一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法。通过在氧化铝基底上沉积一层含氧铂薄膜层，并利用含氧铂薄膜层在后续热处理过程中发生的热分解、团聚和固态去湿过程，提高铂薄膜与氧化铝基底之间的结合力，同时由含氧铂薄膜热分解形成的孤立铂质点作为形核点，将促进后续沉积铂薄膜的再结晶与晶粒长大，经热处理后，即可获得具有高电阻温度系数和优良高温结构稳定性的铂薄膜。本发明制备的铂薄膜，电阻温度系数高，高温结构稳定性好，且结构与工艺简单，无需引入其他金属层或绝缘层作为粘附层或过渡层，是一种有效、经济和实用的方法，所制备的铂薄膜在高温铂薄膜传感器领域有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN115798841A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211188335.1
申请日：2022-09-28
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号： H01C7/00 , H01C17/242
摘要： 本发明涉及薄膜电路图案技术领域，尤其涉及一种用于高精度调阻的薄膜电路图案及其设计方法。包括电极、定值电路、分级调阻电路和连续调阻电路。定值电路包括若干串联和并联的电阻线条，用于提供一定的电阻基值；分级调阻电路包括若干串联在一起的并联电阻线条，用于在调阻时实现阻值增加，接近目标电阻；连续调阻电路与定值电路连接，并垂直于定值电路的电阻线条，用于电阻精调。分级调阻电路在调阻时可实现电阻增量按抛物线规律变化，因此可迅速接近目标阻值，减少调阻产生的热量，提高调阻的精度。用于高精度调阻薄膜图案的设计方法包括确定设计前参数、设计定值电路、设计分级调阻电路、设计连续调阻电路和优化电路布局等。
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公开(公告)号：CN115691922A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211188981.8
申请日：2022-09-28
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号： H01C17/242
摘要： 本发明涉及激光调阻的技术领域，尤其涉及一种以抛物线规律分级的高精度激光调阻方法。通过设置以抛物线规律变化的电阻增量，并在调阻前建立每级调阻电阻增量和误差的数据表，以及调阻点和电阻增量的对应关系，在调阻过程中实时判断并自动选择调阻的增量，使被调电阻能迅速接近目标阻值，再切割短精调线完成调阻。通过设置按抛物线变化的电阻增量，有效减少了调阻的次数，且分级调阻中仅需要切断调阻点图案线条，不需要连续切割，精调过程中也不需要切割长精调线，而仅需要激光短程切割一条短精调线，因此简化了调阻过程，并大大减少了调阻过程中产生的热量，从而提高了调阻精度，提高了调阻效率。
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公开(公告)号：CN114807859A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210262581.0
申请日：2022-03-17
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要： 本发明涉及薄膜制备的技术领域，尤其涉及一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法。通过在氧化铝基底上沉积一层含氧铂薄膜层，并利用含氧铂薄膜层在后续热处理过程中发生的热分解、团聚和固态去湿过程，提高铂薄膜与氧化铝基底之间的结合力，同时由含氧铂薄膜热分解形成的孤立铂质点作为形核点，将促进后续沉积铂薄膜的再结晶与晶粒长大，经热处理后，即可获得具有高电阻温度系数和优良高温结构稳定性的铂薄膜。本发明制备的铂薄膜，电阻温度系数高，高温结构稳定性好，且结构与工艺简单，无需引入其他金属层或绝缘层作为粘附层或过渡层，是一种有效、经济和实用的方法，所制备的铂薄膜在高温铂薄膜传感器领域有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN114752892A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210262574.0
申请日：2022-03-17
申请人： 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要： 本发明涉及薄膜的技术领域，尤其涉及一种超大晶粒的铂薄膜及其制备方法。使用常规的磁控溅射方法制备铂薄膜，并使用氩气和氧气的混合气体作为溅射载气，通过调节溅射时氩气和氧气混合气体中氧气的含量，进而调节沉积态铂薄膜中的“氧含量”，并与薄膜后续的热处理温度和热处理气氛相配合，主要调整薄膜晶粒长大过程中的表面能和应变能，使得其在热处理的某一阶段，具有特定取向的晶粒具有热力学或动力学方面的生长优势，从而不断消耗周围的小晶粒而异常长大，直至异常长大的晶粒相互接触，最终获得晶粒尺寸大、且晶粒分布均匀的铂薄膜。本发明的制备方法简单，制备的铂薄膜结构缺陷少，具有优良的电学性能。
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