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公开(公告)号:CN118516642A
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202410587030.0
申请日:2024-05-13
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/58 , C23C14/24 , C23C14/35 , C23C16/40 , C23C16/06 , C23C16/455 , C23C16/56 , C23C28/00
摘要: 本发明涉及薄膜领域,尤其涉及一种高电阻温度系数且耐高温的铂薄膜及其制备方法;铂薄膜,包括:衬底、在衬底上沉积的氧化铝膜层、在氧化铝膜层上沉积的含氧铂薄膜层、以及在含氧铂薄膜层上沉积的铂薄膜层;其中,氧化铝膜层上设有若干孔洞;本发明制备的铂薄膜平均晶粒尺寸可达200μm,且薄膜结构致密,电阻温度系数可达3850ppm/℃,通过加入含氧铂薄膜作为牺牲层或粘附层,高温热处理后,含氧铂薄膜发生热分解、团聚和固态去湿等过程,得以控制铂的晶粒取向,促进铂的晶粒生长;本发明制备的铂薄膜结构简单,无需对铂薄膜进行合金化或添加其他氧化物中间层,即可获得高电阻温度系数与优良高温稳定性的铂薄膜。
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公开(公告)号:CN115541045A
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202211163114.9
申请日:2022-09-23
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: G01K7/18
摘要: 本发明涉及传感器的技术领域,尤其涉及一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器,包括氧化铝基底,设置于氧化铝基底上的过渡层,设置于过渡层上的第一粘附层,设置于第一粘附层上的铂薄膜电阻层,设置于铂薄膜电阻层上的第二粘附层,设置于第二粘附层上的中间保护层,设置于中间保护层上的玻璃密封层,设置于玻璃密封层上的陶瓷保护层,设置于铂薄膜电阻层上的铂焊盘和铂引线,设置于铂焊盘和铂引线上的焊点保护层,设置于焊点保护层与陶瓷保护层上的封装玻璃层。通过多层结构设计,提高了传感器各层之间的结合力,改善了铂薄膜电阻层的应力状态,提升了传感器的精度,拓宽了其温度测量范围,并使其能在机械振动和热振等恶劣工况下正常工作。
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公开(公告)号:CN118771482A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410957927.8
申请日:2024-07-17
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要: 本发明涉及钙钛矿氧化物领域,尤其涉及一种原位自析出金属氧化物的高熵钙钛矿氧化物及其制备方法与应用;高熵钙钛矿氧化物的化学式为Ln0.2(IIA)0.8Fe0.8M0.2O3‑δ,其中,Ln为稀土元素La、Sm、Gd中的至少一种,IIA为碱土元素Ba、Sr、Ca、Mg中的至少一种,M为Ni或Cu;本发明采用冻干凝胶法成功地制备了原位自析出金属氧化物的高熵钙钛矿氧化物,本发明的高熵钙钛矿氧化物为钙钛矿和析出相的组合结构,不存在第三相,且其晶粒完整,除析出元素外,其他元素在钙钛矿母相中分布均匀,可以通过组分微调同时定制多种物理性质,以满足实际需求;本发明的高熵钙钛矿氧化物与传统钙钛矿氧化物相比,具有更多潜在的新性质和新应用。
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公开(公告)号:CN114807859B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202210262581.0
申请日:2022-03-17
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要: 本发明涉及薄膜制备的技术领域,尤其涉及一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法。通过在氧化铝基底上沉积一层含氧铂薄膜层,并利用含氧铂薄膜层在后续热处理过程中发生的热分解、团聚和固态去湿过程,提高铂薄膜与氧化铝基底之间的结合力,同时由含氧铂薄膜热分解形成的孤立铂质点作为形核点,将促进后续沉积铂薄膜的再结晶与晶粒长大,经热处理后,即可获得具有高电阻温度系数和优良高温结构稳定性的铂薄膜。本发明制备的铂薄膜,电阻温度系数高,高温结构稳定性好,且结构与工艺简单,无需引入其他金属层或绝缘层作为粘附层或过渡层,是一种有效、经济和实用的方法,所制备的铂薄膜在高温铂薄膜传感器领域有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN115036549B
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202210566288.3
申请日:2022-05-24
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: H01M8/249 , H01M8/2484 , H01M8/04082 , H01M8/04089
摘要: 本发明涉及电池领域,尤其是高功率固体氧化物燃料电池/电解池系统。该电池系统包括电堆模块、电池单元、燃料进气管路、燃料排气管路、空气进气管路、空气排气管路,所述电堆模块由四个矩阵排列的电池单元组成,四个电堆模块矩阵排列组成电堆,电堆上连接了燃料进气管路、燃料排气管路、空气进气管路、空气排气管路。该发明通过矩阵对称结构,解决了多堆组合的电堆模块在管道连接过程中的气流均匀、压力平衡与电绝缘可靠性问题,从而实现了小功率单堆进行模块组合的对称扩展,得到了结构紧凑、气流均匀和应力平衡的大功率电池系统。
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公开(公告)号:CN115798841A
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN202211188335.1
申请日:2022-09-28
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: H01C7/00 , H01C17/242
摘要: 本发明涉及薄膜电路图案技术领域,尤其涉及一种用于高精度调阻的薄膜电路图案及其设计方法。包括电极、定值电路、分级调阻电路和连续调阻电路。定值电路包括若干串联和并联的电阻线条,用于提供一定的电阻基值;分级调阻电路包括若干串联在一起的并联电阻线条,用于在调阻时实现阻值增加,接近目标电阻;连续调阻电路与定值电路连接,并垂直于定值电路的电阻线条,用于电阻精调。分级调阻电路在调阻时可实现电阻增量按抛物线规律变化,因此可迅速接近目标阻值,减少调阻产生的热量,提高调阻的精度。用于高精度调阻薄膜图案的设计方法包括确定设计前参数、设计定值电路、设计分级调阻电路、设计连续调阻电路和优化电路布局等。
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公开(公告)号:CN115691922A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202211188981.8
申请日:2022-09-28
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: H01C17/242
摘要: 本发明涉及激光调阻的技术领域,尤其涉及一种以抛物线规律分级的高精度激光调阻方法。通过设置以抛物线规律变化的电阻增量,并在调阻前建立每级调阻电阻增量和误差的数据表,以及调阻点和电阻增量的对应关系,在调阻过程中实时判断并自动选择调阻的增量,使被调电阻能迅速接近目标阻值,再切割短精调线完成调阻。通过设置按抛物线变化的电阻增量,有效减少了调阻的次数,且分级调阻中仅需要切断调阻点图案线条,不需要连续切割,精调过程中也不需要切割长精调线,而仅需要激光短程切割一条短精调线,因此简化了调阻过程,并大大减少了调阻过程中产生的热量,从而提高了调阻精度,提高了调阻效率。
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公开(公告)号:CN116354604A
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202310627219.3
申请日:2023-05-31
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要: 本发明涉及密封材料领域,尤其是用于铂电阻薄膜温度传感的玻璃陶瓷密封材料的制备方法。该制备方法包括S1、将玻璃原料混合并经过第一次球磨后,干燥、过筛得到玻璃原料粉体,玻璃原料包括B2O3 30~40份、SiO2 15~20份、Al2O3 10~15份、CaO 20~30份。本发明解决了现有技术中存在的热膨胀与基片不匹配、抗热循环性能差等问题,满足铂电阻薄膜温度传感器长期使用安全的需求。通过时效处理能有效缓解玻璃内部应力问题,减少内部缺陷,提高玻璃坯体的可加工性;且通过此工艺能获得高致密度、高绝缘电阻及高抗热循环性能的绝缘密封材料。
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公开(公告)号:CN115036549A
公开(公告)日:2022-09-09
申请号:CN202210566288.3
申请日:2022-05-24
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
IPC分类号: H01M8/249 , H01M8/2484 , H01M8/04082 , H01M8/04089
摘要: 本发明涉及电池领域,尤其是高功率固体氧化物燃料电池/电解池系统。该电池系统包括电堆模块、电池单元、燃料进气管路、燃料排气管路、空气进气管路、空气排气管路,所述电堆模块由四个矩阵排列的电池单元组成,四个电堆模块矩阵排列组成电堆,电堆上连接了燃料进气管路、燃料排气管路、空气进气管路、空气排气管路。该发明通过矩阵对称结构,解决了多堆组合的电堆模块在管道连接过程中的气流均匀、压力平衡与电绝缘可靠性问题,从而实现了小功率单堆进行模块组合的对称扩展,得到了结构紧凑、气流均匀和应力平衡的大功率电池系统。
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公开(公告)号:CN114807859A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210262581.0
申请日:2022-03-17
申请人: 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司
摘要: 本发明涉及薄膜制备的技术领域,尤其涉及一种高电阻温度系数铂薄膜及其制备方法。通过在氧化铝基底上沉积一层含氧铂薄膜层,并利用含氧铂薄膜层在后续热处理过程中发生的热分解、团聚和固态去湿过程,提高铂薄膜与氧化铝基底之间的结合力,同时由含氧铂薄膜热分解形成的孤立铂质点作为形核点,将促进后续沉积铂薄膜的再结晶与晶粒长大,经热处理后,即可获得具有高电阻温度系数和优良高温结构稳定性的铂薄膜。本发明制备的铂薄膜,电阻温度系数高,高温结构稳定性好,且结构与工艺简单,无需引入其他金属层或绝缘层作为粘附层或过渡层,是一种有效、经济和实用的方法,所制备的铂薄膜在高温铂薄膜传感器领域有广泛的应用前景。
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