本发明公开了一种清洗液组合物的制备方法。该制备方法包括如下步骤：将所述的清洗液组合物中的各个组分混合，即得到所述的清洗液组合物；清洗液组合物包括下述质量分数的组分：氧化剂、0.001‑0.010％氧化型谷胱甘肽、半胱氨酸、0.01‑0.05％水溶性高分子、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑0.05％EO‑PO聚合物L42和水，水补足余量。采用本发明的清洗液组合物的制备方法制得的清洗液组合物对多种金属及介电材料缓蚀性强；可以高度选择性地移除Ti、TiN、TaN、TiNxOy硬遮罩或包含上述物质的合金的硬遮罩；对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳。