本发明涉及一种薄膜应力监测装置及其使用方法，薄膜应力监测装置，包括安装件、发射件、滤光件和接收件，安装件内形成有安装腔；发射件安装在安装腔的一侧内壁上，发射件用于发射激光，与发射件相对的另一侧内壁上用于设置待测件；滤光件设置在发射件和待测件之间，发射件发射的激光能够通过滤光件到待测件上，待测件能够反射激光至滤光件上，滤光件能够折射激光形成折射激光；接收件设置在安装有发射件的一侧内壁上，接收件能够接收折射激光。薄膜应力监测装置的结构简单，操作方便快捷，通过对激光信息进行比对得到应力信息，也更加准确可靠，避免了结构复杂带来的测量偏差。