一种大尺寸单轴的MEMS振镜
摘要:
本申请公开了一种大尺寸单轴的MEMS振镜,包括框架呈环形;振镜位于框架内部,振镜包括中心轴;一对扭转轴对称设置在振镜两侧,一对扭转轴与中心轴同轴设置,且扭转轴一端与框架固定,另一端与振镜的外环面固定;一对驱动单元,对称设置在振镜两侧,驱动单元与对应侧的扭转轴固定,且驱动单元用于驱动扭转轴扭转以带动振镜绕中心轴旋转。本申请能够根据工况自由设计驱动件的大小,调节驱动力,满足大尺寸MEMS振镜的驱动需求;能够在驱动力下发生较大角度的偏转,同时具有优良的抗冲击性能及合适的工作频率;可根据谐振频率进行设计,保证振镜工作在谐振频率下,有效提高扫描效果。
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