发明公开
- 专利标题: 一种大尺寸单轴的MEMS振镜
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申请号: CN202211255965.6申请日: 2022-10-13
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公开(公告)号: CN115586634A公开(公告)日: 2023-01-10
- 发明人: 李永成 , 吴东岷 , 曾中明
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区若水路398号
- 代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司
- 代理商 黄晨
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08 ; B81B7/02
摘要:
本申请公开了一种大尺寸单轴的MEMS振镜,包括框架呈环形;振镜位于框架内部,振镜包括中心轴;一对扭转轴对称设置在振镜两侧,一对扭转轴与中心轴同轴设置,且扭转轴一端与框架固定,另一端与振镜的外环面固定;一对驱动单元,对称设置在振镜两侧,驱动单元与对应侧的扭转轴固定,且驱动单元用于驱动扭转轴扭转以带动振镜绕中心轴旋转。本申请能够根据工况自由设计驱动件的大小,调节驱动力,满足大尺寸MEMS振镜的驱动需求;能够在驱动力下发生较大角度的偏转,同时具有优良的抗冲击性能及合适的工作频率;可根据谐振频率进行设计,保证振镜工作在谐振频率下,有效提高扫描效果。