发明公开
- 专利标题: IGZO液晶面板制备方法
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申请号: CN202211329933.6申请日: 2022-10-27
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公开(公告)号: CN115586669A公开(公告)日: 2023-01-10
- 发明人: 竹文坤 , 何嵘 , 陈涛 , 刘欢欢 , 雷佳 , 孙囡 , 李瑞 , 杨帆
- 申请人: 西南科技大学
- 申请人地址: 四川省绵阳市涪城区青龙大道中段59号
- 专利权人: 西南科技大学
- 当前专利权人: 西南科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市涪城区青龙大道中段59号
- 代理机构: 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所
- 代理商 张忠庆
- 主分类号: G02F1/1333
- IPC分类号: G02F1/1333 ; G02F1/1362 ; G02F1/1368 ; G02F1/13 ; G02F1/1337 ; H01L27/12
摘要:
本发明公开了一种IGZO TFT液晶面板制备方法,包括:步骤一,制备IGZO TFT阵列基板;步骤二,制备CF彩膜基板;步骤三,通过Cell成盒工艺对阵列基板、彩膜基板进行成盒处理;所述阵列基板的制程中包括对栅极层、栅极绝缘层、氧化物半导体层、刻蚀阻挡层、钝化层的优化,且优化过程被配置为包括:通过先在玻璃基板上溅射栅极材料膜,经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案;通过溅射成膜法得到ITO膜,再经掩膜曝光及湿法蚀刻构成显示电极图案,得到刻蚀阻挡层。本发明提供一种IGZO TFT液晶面板制备方法,IGZO TFT液晶面板的制备工艺主要面向50英寸以上IGZO电视液晶显示面板,在制备中通过增加钝化层等膜层结构设计,对膜基结合力和膜抗氧化等性能进行提升。
IPC分类: