IGZO液晶面板制备方法
摘要:
本发明公开了一种IGZO TFT液晶面板制备方法,包括:步骤一,制备IGZO TFT阵列基板;步骤二,制备CF彩膜基板;步骤三,通过Cell成盒工艺对阵列基板、彩膜基板进行成盒处理;所述阵列基板的制程中包括对栅极层、栅极绝缘层、氧化物半导体层、刻蚀阻挡层、钝化层的优化,且优化过程被配置为包括:通过先在玻璃基板上溅射栅极材料膜,经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案;通过溅射成膜法得到ITO膜,再经掩膜曝光及湿法蚀刻构成显示电极图案,得到刻蚀阻挡层。本发明提供一种IGZO TFT液晶面板制备方法,IGZO TFT液晶面板的制备工艺主要面向50英寸以上IGZO电视液晶显示面板,在制备中通过增加钝化层等膜层结构设计,对膜基结合力和膜抗氧化等性能进行提升。
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