本发明公开了一种高温腔室对接装置，涉及对接装置技术领域，解决了高温反应箱内对接后冷却时易导致热气上浮使得开盖存在热气涌出的问题，包括反应箱，反应箱内部安装有载台，且反应箱的两侧均固定有对接管，还包括密封组件和对接壳，对接管内设有通孔，本发明通过在反应箱的两侧增设对接管及内部的密封组件，在反应箱内部进行化学气相沉积操作时，能够保证反应箱内部的密封性，在基板完成薄膜沉积后，通过设计的对接壳及内部的调节机构，实现与密封组件的对接，能够将反应箱内部的热气泄压排出，并且通过转向组件和L型管，能够对顶部的热气进行优先排出和降温，使得人员在打开端盖时，能够避免高温气体的涌出。