一种衬底承载结构及其气相外延生长装置

    公开(公告)号:CN118600543A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410797627.8

    申请日:2024-06-20

    发明人: 文成 牧青 杨波

    IPC分类号: C30B25/12 C30B25/08

    摘要: 本发明公开了一种衬底承载结构及其气相外延生长装置,涉及半导体制造技术领域,旨在解决衬底装卸费时费力的技术问题,包括基座,基座内部中空形成安装腔,基座顶端均匀布置有若干放置槽,放置槽上呈环形等间距结构布置有若干定位组件,安装腔内布置有若干调节机构,调节机构顶端与对应的若干定位组件活动连接,任意相邻两个调节机构啮合连接;放置槽中心位置开设有与安装腔相连通的滑孔,安装腔内相对若干滑孔位置布置有若干顶升机构,顶升机构顶端与滑孔活动连接,顶升机构顶端构成装卸平面,顶升机构与调节机构啮合连接;基座顶端布置有手动旋转机构,手动旋转机构底端与对应的调节机构固定连接。本发明具有衬底装卸省时省力的优点。

    字符喷印机中软板专用装夹平台
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118494026A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410748785.4

    申请日:2024-06-11

    发明人: 文文 文成 牧青

    IPC分类号: B41J3/01 B41J3/407 B41J29/38

    摘要: 本发明公开了字符喷印机中软板专用装夹平台,涉及工装夹具技术领域,包括工作台,工作台内部设置有真空腔,工作台表面设置有树脂板,树脂板上均匀分布有与真空腔相连通的气孔,工作台一侧设置有控制杆,控制杆上设置有一排横杆,横杆上设置有与气孔位置相互对应的安装筒,安装筒内腔转动连接有若干扇板,横杆上设置有用于控制若干扇板进行开与关的控制组件。该字符喷印机中软板专用装夹平台,通过在安装筒内的扇板可以通过控制系统精确控制其开合,从而精确控制气孔的开启数量,这有助于避免过多气孔开启导致的漏气问题,保证了吸附力的稳定性和软板吸附的平整性。

    基于光学影像的喷印点实时定位方法

    公开(公告)号:CN118494017A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410727360.5

    申请日:2024-06-06

    发明人: 牧青 文成 张迎春

    IPC分类号: B41J2/07 B41J2/075 B41J2/125

    摘要: 本发明公开了基于光学影像的喷印点实时定位方法,本发明涉及喷印定位技术领域,解决了物体在进行喷印的时候会存在不同的放置姿势,喷印的过程中不能对喷印区域进行识别,从而会导致喷印出现异常的技术问题,本发明通过喷印机的喷印点进行校准定位,从而能够减小后续喷印过程中出现的误差,进一步的在喷印的时候对喷印区域进行分析,综合物体的放置姿势和喷印机的喷印方向来分析,选取合适的喷印方向和喷印角度,适应不同放置姿势物体的喷印要求,减小喷印过程中出现的误差,提高喷印的效率。

    一种碳化硅外延化学气相沉积系统

    公开(公告)号:CN117265650B

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202311218745.0

    申请日:2023-09-20

    发明人: 文成 牧青 李宝

    IPC分类号: C30B25/02 C30B29/36

    摘要: 本发明公开了表面处理技术领域的一种碳化硅外延化学气相沉积系统,包括真空箱、双头置料板、驱动机构、真空机;所述双头置料板设置在真空箱内,所述真空箱具有气体注入功能,所述真空箱内能够存在两个独立的真空腔,所述双头置料板两侧均内置有恒温加热机构,所述所述双头置料板两侧均用于安置基体,所述驱动机构用于驱动双头置料板两侧在两个真空腔间互换,所述真空机用于抽取真空腔内气体,本发明通过设置两个独立的真空腔,使基体的碳化硅沉积工作和加热冷却工作能够在两个真空腔中同步进行,使设备在对一组基体进行碳化硅沉积后,就能够立刻进行下一组基体的碳化硅沉积工作,极大的增加了设备的加工效率。

    一种用于碳化硅外延片的表面沉积装置

    公开(公告)号:CN116815306B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202310836861.2

    申请日:2023-07-10

    发明人: 文成 刘兴昉 牧青

    摘要: 本发明公开了一种用于碳化硅外延片的表面沉积装置,涉及沉积设备技术领域,解决不便于快速下料的技术问题,包括沉积箱,所述沉积箱内安装有放置台,所述沉积箱的顶部转动安装有盖板,所述盖板上安装有进气管,所述沉积箱上设置有下料组件和升降组件,所述下料组件包括刮板,所述沉积箱靠近盖板的一侧设置有往复单元,所述刮板通过往复单元安装在沉积箱上,所述沉积箱的一侧固定安装有下料架,所述下料架转动安装有传送带,所述沉积箱靠近传送带的一侧固定安装有接料板,所述传送带上固定安装有多个限位条,所述下料架上固定安装有第二电机;有利于缩短碳化硅外延片的生产周期,有利于提高装置的工作效率。

    一种应用于印刷机中的烘干结构

    公开(公告)号:CN117301712B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311624940.3

    申请日:2023-11-30

    发明人: 文成 牧青 张迎春

    IPC分类号: B41F23/04

    摘要: 本发明涉及印刷烘干技术领域,具体的说是一种应用于印刷机中的烘干结构,包括壳体,所述壳体一侧设有贯穿设置的开槽,所述开槽内设有输送带,所述壳体内侧顶部设有烘干结构,所述壳体远离开槽的两侧均设有抽吸结构,所述抽吸结构与壳体内部连通,所述壳体的一侧设有吸水除湿结构,所述抽吸结构与吸水除湿结构连通;将滑动框取出,并将吸水材料铺设在滑动框内,以此降低空气中的水分,当空气被过滤完成后,吹风板将干燥后的空气吹出并进行加热后形成热风,依靠热风对印刷品进行烘干,烘干的过程中对油墨中的水分蒸发,同时空气经过除湿过滤后,能有效地降低印刷品的烘干时间,以此提高印刷品的烘干效果和烘干效率。

    一种应用于印刷机中的烘干结构

    公开(公告)号:CN117301712A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311624940.3

    申请日:2023-11-30

    发明人: 文成 牧青 张迎春

    IPC分类号: B41F23/04

    摘要: 本发明涉及印刷烘干技术领域,具体的说是一种应用于印刷机中的烘干结构,包括壳体,所述壳体一侧设有贯穿设置的开槽,所述开槽内设有输送带,所述壳体内侧顶部设有烘干结构,所述壳体远离开槽的两侧均设有抽吸结构,所述抽吸结构与壳体内部连通,所述壳体的一侧设有吸水除湿结构,所述抽吸结构与吸水除湿结构连通;将滑动框取出,并将吸水材料铺设在滑动框内,以此降低空气中的水分,当空气被过滤完成后,吹风板将干燥后的空气吹出并进行加热后形成热风,依靠热风对印刷品进行烘干,烘干的过程中对油墨中的水分蒸发,同时空气经过除湿过滤后,能有效地降低印刷品的烘干时间,以此提高印刷品的烘干效果和烘干效率。

    一种碳化硅外延化学气相沉积系统的真空腔室

    公开(公告)号:CN115613131B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202211265450.4

    申请日:2022-10-17

    IPC分类号: C30B25/08 C30B29/36 C23C16/44

    摘要: 本发明公开了一种碳化硅外延化学气相沉积系统的真空腔室,涉及碳化硅外延片加工领域,解决了现有真空腔室不能对外延片多个尺寸通用加工的问题,包括包括安装于外延炉内部的外延炉内部密封板,外延炉内部密封板的下方安装有底托,且底托的下端安装有可使底托轴向位移的移动装置,本发明通过电动推杆对滑槽板的推动,可使四组立柱带着封闭板进行收缩,从而降低真空腔室的底面积,在收缩的过程中通过双向调节组件和传动组件的作用,可带动异向螺纹杆进行转动,其在转动过程中可触动推动组件一或推动组件二,将封闭框体一或封闭框体二下沉,对真空腔室的空间高度缩短,从而实现对真空腔室内部的空间缩放调节。

    一种高温腔室对接装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115652280A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202211265429.4

    申请日:2022-10-17

    发明人: 牧青 文成 李宝 文文

    IPC分类号: C23C16/44

    摘要: 本发明公开了一种高温腔室对接装置,涉及对接装置技术领域,解决了高温反应箱内对接后冷却时易导致热气上浮使得开盖存在热气涌出的问题,包括反应箱,反应箱内部安装有载台,且反应箱的两侧均固定有对接管,还包括密封组件和对接壳,对接管内设有通孔,本发明通过在反应箱的两侧增设对接管及内部的密封组件,在反应箱内部进行化学气相沉积操作时,能够保证反应箱内部的密封性,在基板完成薄膜沉积后,通过设计的对接壳及内部的调节机构,实现与密封组件的对接,能够将反应箱内部的热气泄压排出,并且通过转向组件和L型管,能够对顶部的热气进行优先排出和降温,使得人员在打开端盖时,能够避免高温气体的涌出。

    一种印刷机压印装置的离合机构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115339222A

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202211253498.3

    申请日:2022-10-13

    IPC分类号: B41F13/008

    摘要: 本发明涉及印刷机领域,具体为一种印刷机压印装置的离合机构,包括印刷机主体,印刷机主体的内壁顶部的中间位置设有气缸,气缸的输出端底部设有伸缩杆,伸缩杆的底部设有调节装置,调节装置的外侧设有活动机构;本发明中,通过设置的活动机构,能够在螺杆旋转,通过螺筒拉近或拉远连接架底部压印辊与版辊之间距离时,通过切换齿圈或第二齿圈的使用,使内柱转动同样圈数时,刻度盘上需求刻度位置与指针之间的靠近速度能够得到调整,以便于提升控制压印辊和版辊之间的距离时的精度,帮助一次完成对距离的调整,无需多次反复矫正,能够提高校准效率。