本发明提供了一种介电薄膜、电容式压力传感器及其制备方法；介电薄膜的制备方法，包括如下步骤：将热膨胀颗粒与PDMS溶液混合，得到混合溶液；将混合溶液涂覆在基材的表面，并加热固化，以在基材表面形成介电薄膜，介电薄膜包括PDMS膜层及凸出于PDMS膜层表面的由热膨胀颗粒形成的空心半球形凸起。相对于传统的模具法、3D打印法和静电纺丝法等电容式压力传感器的制备方法，本发明的制备方法不仅工艺非常简单、成本低、可重复性高、可以实现大面积生产，而且所制备的电容式压力传感器的灵敏度较高。