本发明公开了一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法，以解决现有的显微镜检测方法检测效率低，检测成本高且容易伤害元件表面的问题。具体包括积分球A、积分球B、衰减模块、光源组件、第一探测器、第二探测器和数据处理单元；积分球A上设有入射口、第一出射口、采样口和第二出射口；光源组件对应设置在积分球A的入射口外，第一探测器对应设置在积分球A的第一出射口外；采样口分别与积分球A的入射口及第一出射口对应，采样口用于设置待测元件；积分球B上设有入射口和出射口；第二探测器设置对应在积分球B的出射口处；衰减模块设置在积分球A的第二出射口与积分球B的入射口之间；数据处理单元分别与第一探测器和第二探测器电连接。