一种条纹反射测量系统中各组件的位姿标定方法

    公开(公告)号:CN117782530A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311702610.1

    申请日:2023-12-12

    IPC分类号: G01M11/02 G01B11/24

    摘要: 本发明涉及一种系统的位姿标定方法,为解决现有标定方法存在的成本高、步骤繁琐和计算量大的问题,而提供一种条纹反射测量系统中各组件的位姿标定方法。本发明包括以下步骤:1)准备激光跟踪仪、相机、显示器、棋盘格靶标板、待测镜、型材架、光学平台、激光靶球和L型工装;2)安装激光跟踪仪至预设位置并调节,安装相机和显示器,将棋盘格靶标板和待测镜安装至光学平台上的预设位置,将激光靶球和L型工装放置在棋盘格靶标板的预设位置;3)建立世界坐标系、相机坐标系、显示器坐标系、镜面坐标系和棋盘格坐标系;4)计算出其他坐标系相对于世界坐标系的坐标变换矩阵,从而得到条纹反射测量系统中各组件的位姿关系。

    一种超光滑表面光学元件的表面特性测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117629102A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311558924.9

    申请日:2023-11-21

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明涉及表面特性测量装置及方法,具体涉及一种超光滑表面光学元件的表面特性测量装置及方法,用于解决通过扫描探针式轮廓仪检测超光滑表面光学元件的表面特性,由于需要接触待测光学元件表面,因此存在极易对待测光学元件造成二次损伤,适用范围受到待测光学元件的材质限制,以及检测过程复杂,需要专业的技术人员进行操作,检测及维护成本较高的不足之处。该超光滑表面光学元件的表面特性测量装置通过偏振分光棱镜、第一测量组件、第二测量组件实现了双光路测量,同步采集系统的参考信号,与探测信号进行计算,有效降低了测量装置的误差,提高了测量精度。本发明可以实现亚纳米级别的测量精度,适用于高精度表面特性测量。

    双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN117470093A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311420265.2

    申请日:2023-10-30

    IPC分类号: G01B9/02 G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法,以解决现有的光栅干涉仪精度低且稳定性不足的技术问题。具体包括双频激光器、第一平行平板镜、第二平行平板镜等;双频激光器出射两束具有固定频差的正交线偏振光;第一平行平板镜设置在正交线偏振光所在光路上;第二平行平板镜位于第一光束和第二光束所在光路上,将第二束光分为两束参考光;偏振分光棱镜包括四侧,其中第一侧与第三侧相对,第二侧与第四侧相对,且第一侧与第二平行平板镜对应;第三侧出射的光线所在光路上用于设置待测光栅;第一反射棱镜和第二反射棱镜分别设置于第四侧和第二侧出射光线所在的光路上;第一光纤耦合器和第二光纤耦合器均设置于偏振分光棱镜的第一侧。

    基于X射线干涉仪的多重倍频激光读数头测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117647204A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202311627086.6

    申请日:2023-11-30

    IPC分类号: G01B15/00 G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种基于X射线干涉仪的多重倍频激光读数头测量装置及方法,以解决现有的多重倍频激光测量装置测量范围小、测量速度低、应用范围受限的问题。具体包括X射线干涉仪和多重倍频激光干涉仪;X射线干涉仪包括X射线光源、第一至第三透射光栅、第一光电探测器和第二光电探测器;X射线光源用于发射X射线;第一至第三透射光栅的光栅面及栅线方向一致,且依次沿X射线出射方向设置;第三透射光栅上安装待测基准镜;第一光电探测器和第二光电探测器设置于第三透射光栅远离第二透射光栅一侧的光路上;多重倍频激光干涉仪设置于待测基准镜远离X射线干涉仪一侧,以获取待测基准镜在Y向上的位置及其沿X向和Z向的位移。

    极微弱近红外信号探测装置

    公开(公告)号:CN115808192B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202211474849.3

    申请日:2022-11-23

    IPC分类号: G01D5/40 G01D11/00

    摘要: 本申请涉及一种极微弱近红外信号探测装置,包括:信号探测单元、信号处理单元、温控单元和电磁屏蔽单元;信号探测单元包括光电倍增管,光电倍增管用于采集入射光信号,并将入射光信号发送至信号处理单元;温控单元用于控制光电倍增管的温度;电磁屏蔽单元用于对信号探测单元进行电磁屏蔽;信号处理单元用于生成参考信号,并基于参考信号对入射光信号进行处理,输出目标信号。本申请的极微弱近红外信号探测装置,为了避免外部条件的影响,设计电磁屏蔽单元,同时采用TEC温控单元,调节光电倍增管维持在低温环境中,以避免光阴极面发热所射出的热电子产生的暗电流噪声,能够进一步提高光电倍增管的探测精度,同时可以让光电倍增管更稳定的工作。

    一种光学元件近红外波段散射信号探测装置及方法

    公开(公告)号:CN117629588A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311567805.X

    申请日:2023-11-22

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明涉及散射信号探测装置及方法,具体涉及一种光学元件近红外波段散射信号探测装置及方法,用于解决现有光学元件散射信号探测装置在近红外波段散射信号探测时,系统响应率直线下降,灵敏度急速降低,探测精度大幅下降,探测难度很大的不足之处。该光学元件近红外波段散射信号探测装置包括激光器、组合透镜组、斩波器、分光镜、第一探测组件和第二探测组件;由分光镜得到相同的光线I和光线II,第二探测组件用采集待测光学元件的散射光提取待测光学元件的散射特征,第一探测组件用于为第二探测组件提供实时参考信号,以提高检测结果的准确性。

    一种多点激光干涉测量装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117470089A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311420260.X

    申请日:2023-10-30

    IPC分类号: G01B9/02 G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种多点激光干涉测量装置,以解决现有干涉测量装置的测量精准度较低,无法实现高精准定位的技术问题。具体包括双频激光器、能量分束镜、偏振分光棱镜以及光纤耦合器等;双频激光器发射具有频差的正交线偏振光;能量分束镜设置在正交线偏振光所在光路上;偏振分光棱镜设置在分束后的光束所在光路上;偏振分光棱镜包括四侧,其中第一侧和第三侧相对,第二侧和第四侧相对;能量分束镜位于偏振分光棱镜的第一侧;第一波片位于偏振分光棱镜第三侧和待测镜之间,能够接收偏振分光棱镜直接透射的光束;第一直角棱镜和第二直角棱镜分别位于偏振分光棱镜第二侧和第四侧;光纤耦合器位于偏振分光棱镜的第一侧,用于接收最终的出射光。

    一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法

    公开(公告)号:CN115575354A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202211165880.9

    申请日:2022-09-23

    IPC分类号: G01N21/49

    摘要: 本发明公开了一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法,解决了超光滑表面元件散射特性的检测效率低、系统复杂、易造成元件表面损伤的问题。具体包括光源组件、移频调制单元、积分球、平移台、图像采集单元及数据处理单元;光源组件发射入射光线;移频调制单元将入射光线分成具有固定频率差的第一光束和第二光束;积分球上设有与第一光束对应的第一入射口、与第二光束对应的第二入射口、用于设置待测元件的采样口,以及第一出射口和第二出射口;采样口分别与第一入射口和第一出射口对应;平移台设在积分球的采样口处,用于匀速平移采样口处的待测元件;图像采集单元设置在积分球第二出射口外;数据处理单元与图像采集单元电连接。

    一种极微弱近红外信号探测装置及方法

    公开(公告)号:CN118129902A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410061336.2

    申请日:2024-01-16

    IPC分类号: G01J3/28

    摘要: 本发明涉及一种近红外探测技术,尤其涉及一种极微弱近红外信号探测装置及方法。解决了现有极微弱信号探测存在响应率低、灵敏度低、探测困难、检测精度差、可探测信号频带窄以及获得的信号质量低的技术问题。本发明装置包括门控开关、探测器、数模转换系统、微处理系统、增益控制电路、采样电路、滤波系统、神经网络和数据处理系统和选通控制系统。选通控制系统控制门控开关对进入的近红外信号进行选通筛选;探测器采集筛选后的信号,经数模转换系统转换为数字信号并输入到微处理系统中进行信号补偿;再依次经增益控制电路、采样电路、滤波系统后进入神经网络进行训练和学习;最后经数据处理系统输出得到所探测的近红外信号。