发明公开
- 专利标题： 量测方法、设备和计算机程序
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申请号： CN202180048651.6申请日： 2021-05-27
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公开(公告)号： CN115777084A公开(公告)日： 2023-03-10
- 发明人: S·G·J·马西森 , P·A·J·蒂内曼斯 , A·J·登博夫 , K·巴塔查里亚 , S·U·雷曼
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 胡良均
- 优先权： 63/049,897 20200709 US
- 国际申请： PCT/EP2021/064156 2021.05.27
- 国际公布： WO2022/008135 EN 2022.01.13
- 进入国家日期： 2023-01-06
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
公开一种改进感兴趣参数的测量的方法。方法包括：获得量测数据，量测数据包括与衬底上的一个或多个目标相关的感兴趣参数的多个测量值，每个测量值与所述一个或多个目标中的目标和测量目标的测量条件的不同测量组合，以及与一个或多个目标的不对称性相关的不对称性度量数据相关。基于测量组合中感兴趣参数存在公共真实值的假设，确定测量组合中的每个测量组合使感兴趣参数的真实值与不对称性度量数据相关的各自关系。使用这些关系来改进感兴趣参数的测量。
IPC分类:
