本发明公开了一种高熵氧化物作为热电极制备高温温度传感器的方法，能够大幅提高氧化物温度传感器的高温稳定性能，提高高温服役特性，实现极端环境下高温温度参数的测试需求。该温度传感器包括：设置在陶瓷基片上的两个热电极，两个热电极的一端搭接在一起形成温度传感器结构，两个热电极的材料采用导电高熵氧化物材料构成。本发明适用于磁控溅射、丝网印刷或者流延成型工艺制备热电极。对比于传统热电极导电材料，该方法制备的温度传感器能够提供更高的使用温度、更好的抗氧化性和灵敏度，更好的结构稳定性和结合力特性，具有测量精准度高，服役稳定性高的优势。