发明授权
- 专利标题: 一种正装LED芯片制备方法
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申请号: CN202310139797.2申请日: 2023-02-21
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公开(公告)号: CN115863498B公开(公告)日: 2024-03-12
- 发明人: 刘伟 , 李文涛 , 林潇雄 , 胡加辉 , 金从龙
- 申请人: 江西兆驰半导体有限公司
- 申请人地址: 江西省南昌市高新技术产业开发区天祥北大道1717号
- 专利权人: 江西兆驰半导体有限公司
- 当前专利权人: 江西兆驰半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省南昌市高新技术产业开发区天祥北大道1717号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 何世磊
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/44 ; H01L33/36
摘要:
本发明提供一种正装LED芯片制备方法,本发明通过在第四半成品芯片上的透明导电薄膜上进行一道光刻,形成PD1的图案掩膜,并且PD1的图案掩膜具体为导电电极,PD1的图案掩膜相比于常规图案掩膜较小,且由于导电电极只起到欧姆接触的作用,并且PD1的图案掩膜相比于常规图案掩膜较小,因此可以有效的防止金属迁移,并通过在第五半成品芯片上沉积电极支撑层,电极支撑层不仅能够起到绝缘保护的作用,也可以对导电电极的金属迁移进行进一步的抑制,从而提升该芯片的可靠性。
公开/授权文献
- CN115863498A 一种正装LED芯片制备方法 公开/授权日:2023-03-28
IPC分类: