一种正装LED芯片制备方法
摘要:
本发明提供一种正装LED芯片制备方法,本发明通过在第四半成品芯片上的透明导电薄膜上进行一道光刻,形成PD1的图案掩膜,并且PD1的图案掩膜具体为导电电极,PD1的图案掩膜相比于常规图案掩膜较小,且由于导电电极只起到欧姆接触的作用,并且PD1的图案掩膜相比于常规图案掩膜较小,因此可以有效的防止金属迁移,并通过在第五半成品芯片上沉积电极支撑层,电极支撑层不仅能够起到绝缘保护的作用,也可以对导电电极的金属迁移进行进一步的抑制,从而提升该芯片的可靠性。
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