本发明公开了一种无铅硼硅玻璃材料、制备方法及其用途，无铅硼硅玻璃材料的原料组成为SiO2、B2O3和MFx，MFx为AlF3、CaF2、MgF2、ZnF2和BaF2中的任意一种或几种，并添加CaO、MgO、BaO、SrO、La2O3、Na2CO3和K2CO3等玻璃网络结构修饰剂，本发明选用氟化物取代硼硅酸铅玻璃中的PbO降低玻璃的软化点，实现无铅化。本发明还公开了包含上述无铅硼硅玻璃材料的低温共烧陶瓷材料、制备及用途。本发明提供的无铅硼硅玻璃材料对陶瓷具有优异的促烧结效果，该玻璃和陶瓷混合烧结后具有较高的致密化程度、优异的介电性能，可以应用于低温共烧陶瓷(LTCC)等封装领域。