本发明涉及特种加工领域，尤其涉及一种超短脉冲激光束无损伤加工窄缝型腔微孔的方法，包括以下步骤：S1，叶片内腔防护：从叶片排气边的劈缝侧边，向叶片的狭窄型气膜孔加工部位的内腔中塞入激光防护物；S2，定位叶片狭窄型气膜孔的加工位置；S3，叶片狭窄型气膜孔的加工：使用超短脉冲激光束加工设备以动光式光束逐层扫面方式进行加工，同时通过CCD同轴视屏监控系统对加工过程进行监控。本发明将激光主动防护技术(超短脉冲激光束参数控制)、激光被动防护技术(防护物填充及去除)、孔位精确定位技术(多特征点定位)、实时加工监测技术(CCD同轴视屏监控系统)，融合创新，形成成套加工方法。