发明授权
- 专利标题: 一种大面积消色差超构透镜的制备方法
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申请号: CN202211739484.2申请日: 2022-12-30
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公开(公告)号: CN115951433B公开(公告)日: 2024-08-20
- 发明人: 胡跃强 , 姜玉婷 , 李苓 , 段辉高 , 贾红辉
- 申请人: 湖南大学 , 湖南大学深圳研究院 , 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
- 申请人地址: 湖南省长沙市岳麓区麓山南路麓山门; ;
- 专利权人: 湖南大学,湖南大学深圳研究院,湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
- 当前专利权人: 湖南大学,湖南大学深圳研究院,湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市岳麓区麓山南路麓山门; ;
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 王兆波
- 主分类号: G02B3/00
- IPC分类号: G02B3/00 ; G02B27/00 ; G02B17/08 ; G03F7/20 ; G03F7/16 ; G03F7/42
摘要:
本发明公开了一种大面积消色差超构透镜的制备方法,包括以下步骤:旋涂抗蚀剂,即在选择好的介质衬底上进行抗蚀剂的旋涂,并进行抗蚀剂的烘烤以确保溶液全部排出,仅留下溶质,所述抗蚀剂为正型抗蚀剂包括聚甲基丙烯酸甲酯和ZEP。本发明大面积消色差超构透镜的制备方法可以更好的对透镜的波前进行变换,在进行结构的匹配时格式得到更小的匹配误差、更优的消色差效果以及更大面积的设计,同时,采用该制备流程也可以实现具有高深宽比和高陡直度的结构的制备。
公开/授权文献
- CN115951433A 一种大面积消色差超构透镜的制备方法 公开/授权日:2023-04-11