一种大面积消色差超构透镜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种大面积消色差超构透镜的制备方法,包括以下步骤:旋涂抗蚀剂,即在选择好的介质衬底上进行抗蚀剂的旋涂,并进行抗蚀剂的烘烤以确保溶液全部排出,仅留下溶质,所述抗蚀剂为正型抗蚀剂包括聚甲基丙烯酸甲酯和ZEP。本发明大面积消色差超构透镜的制备方法可以更好的对透镜的波前进行变换,在进行结构的匹配时格式得到更小的匹配误差、更优的消色差效果以及更大面积的设计,同时,采用该制备流程也可以实现具有高深宽比和高陡直度的结构的制备。
公开/授权文献
0/0