一种硅基片上电感及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种硅基片上电感,属于电感器件技术领域,包括硅支架(9)、金属线圈(10)、磁环(11)和电极(12),其中,所述金属线圈(10)通过绕线的方式绕制在硅支架(9)上面并通过堆叠的方式实现线圈闭环,所述磁环(11)绕制在金属线圈(10)中间,所述电极(12)堆叠在电感上并与金属线圈(10)实现互联,本发明还公开了上述电感的制作方法,所述方法包括制作线圈硅片、制作电极硅片以及铸造制备器件等步骤;本发明制备的螺线管式电感器具有占用芯片面积小、涡流损耗小和电感值较高等的优点。
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