发明授权
- 专利标题： 一种清洗液的应用
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申请号： CN202211414101.4申请日： 2022-11-11
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公开(公告)号： CN116042331B公开(公告)日： 2024-03-08
- 发明人: 王溯 , 蒋闯 , 刘金霞 , 任发强 , 刘文奇 , 刘超勇
- 申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 申请人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 代理机构： 上海弼兴律师事务所
- 代理商 陈卓
- 主分类号： C11D7/26
- IPC分类号： C11D7/26 ; C11D7/32 ; C11D7/34 ; C11D7/60 ; H01L21/02
公开/授权文献
- CN116042331A 一种清洗液的应用 公开/授权日：2023-05-02
