一种太赫兹光热电探测器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种太赫兹光热电探测器,其特征在于,包括:基底;沟道层,设置在基底上,用于进行光热电转化;源电极和漏电极,均设置在沟道层上,用于收集电信号;以及耦合天线,设置在源电极和漏电极之间且靠近源电极,用于局域太赫兹光场,从而使沟道层产生温度差。本发明还提供了一种太赫兹光热电探测器的制备方法,用于上述的太赫兹光热电探测器。本发明所提供的太赫兹光热电探测器及其制备方法具有结构简单、电磁耦合效率高、检测能力强以及制备工艺简单的特点。
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