发明公开
- 专利标题: 一种太赫兹光热电探测器及其制备方法
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申请号: CN202310275202.6申请日: 2023-03-21
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公开(公告)号: CN116133500A公开(公告)日: 2023-05-16
- 发明人: 郭旭光 , 洪亮 , 王兰霞 , 蔡苗 , 付静静 , 朱亦鸣
- 申请人: 上海理工大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 专利权人: 上海理工大学
- 当前专利权人: 上海理工大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 代理机构: 上海德昭知识产权代理有限公司
- 代理商 卢泓宇
- 主分类号: H10N10/17
- IPC分类号: H10N10/17 ; H10N10/01
摘要:
本发明提供了一种太赫兹光热电探测器,其特征在于,包括:基底;沟道层,设置在基底上,用于进行光热电转化;源电极和漏电极,均设置在沟道层上,用于收集电信号;以及耦合天线,设置在源电极和漏电极之间且靠近源电极,用于局域太赫兹光场,从而使沟道层产生温度差。本发明还提供了一种太赫兹光热电探测器的制备方法,用于上述的太赫兹光热电探测器。本发明所提供的太赫兹光热电探测器及其制备方法具有结构简单、电磁耦合效率高、检测能力强以及制备工艺简单的特点。