一种切割LED晶片的裂片方法
摘要:
本发明涉及一种切割LED晶片的裂片方法,属于LED芯片技术领域。包括步骤如下:(1)将晶片放在贴膜机上进行贴膜作业;(2)将步骤(1)所得晶片放入划片机中,校准水平,画定切割行列,划片机在晶片表面形成划痕;(3)在晶片有电极一面贴一层离子导电膜;(4)将待裂晶片放进工装底座中,然后将工装底座放入裂片机,进行裂片作业,裂片时劈刀下压量调至6‑7um;(5)裂片完成后,将工装底座从裂片机中取出,进行分离作业;(6)开启气体反吹,使蓝膜鼓起向上,晶片完全分离。本发明可以在裂片时减少裂片机劈刀的下压量,避免劈刀下压量过大造成的切割不良,同时避免裂片完成后,因LED晶片之间有黏连,造成扩膜后出现双晶,影响产品良率。
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