发明公开
- 专利标题: 一种切割LED晶片的裂片方法
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申请号: CN202111418682.4申请日: 2021-11-26
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公开(公告)号: CN116175791A公开(公告)日: 2023-05-30
- 发明人: 李法健 , 吴金凤 , 吴向龙 , 闫宝华
- 申请人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 赵龙群; 郎彼得
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00 ; H01L21/78 ; H01L33/00
摘要:
本发明涉及一种切割LED晶片的裂片方法,属于LED芯片技术领域。包括步骤如下:(1)将晶片放在贴膜机上进行贴膜作业;(2)将步骤(1)所得晶片放入划片机中,校准水平,画定切割行列,划片机在晶片表面形成划痕;(3)在晶片有电极一面贴一层离子导电膜;(4)将待裂晶片放进工装底座中,然后将工装底座放入裂片机,进行裂片作业,裂片时劈刀下压量调至6‑7um;(5)裂片完成后,将工装底座从裂片机中取出,进行分离作业;(6)开启气体反吹,使蓝膜鼓起向上,晶片完全分离。本发明可以在裂片时减少裂片机劈刀的下压量,避免劈刀下压量过大造成的切割不良,同时避免裂片完成后,因LED晶片之间有黏连,造成扩膜后出现双晶,影响产品良率。