一种基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法
摘要:
本申请实施例涉及光电子技术领域,特别涉及一种基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法,包括以下步骤:将S源置于双温管式炉的低温区,将Mo源置于双温管式炉的高温区;其中,Mo源包括MoO3粉末以及生长在衬底上的MoO3薄膜;S源与Mo源在高温环境下一步外延生长MoS2/MoO3异质结;将MoS2/MoO3异质结转移至金叉指电极上,制备光电探测器。本申请提供的基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法,一步法生长的MoS2/MoO3异质结表现出较强的界面耦合质量,高界面耦合质量能够促进层间电荷转移,进一步提高异质结光电探测器的光响应。
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