- 专利标题: 一种基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法
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申请号: CN202310465138.8申请日: 2023-04-27
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公开(公告)号: CN116190497B公开(公告)日: 2023-07-18
- 发明人: 李金华 , 王婉玉 , 石凯熙 , 楚学影 , 姜振峰
- 申请人: 长春理工大学
- 申请人地址: 吉林省长春市卫星路7089
- 专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市卫星路7089
- 代理机构: 北京市诚辉律师事务所
- 代理商 吴敏; 耿慧敏
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0336 ; H01L31/109
摘要:
本申请实施例涉及光电子技术领域,特别涉及一种基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法,包括以下步骤:将S源置于双温管式炉的低温区,将Mo源置于双温管式炉的高温区;其中,Mo源包括MoO3粉末以及生长在衬底上的MoO3薄膜;S源与Mo源在高温环境下一步外延生长MoS2/MoO3异质结;将MoS2/MoO3异质结转移至金叉指电极上,制备光电探测器。本申请提供的基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法,一步法生长的MoS2/MoO3异质结表现出较强的界面耦合质量,高界面耦合质量能够促进层间电荷转移,进一步提高异质结光电探测器的光响应。
公开/授权文献
- CN116190497A 一种基于强耦合MoS2/MoO3异质结光电探测器的制备方法 公开/授权日:2023-05-30
IPC分类: