一种模块化探针卡及探针卡制造方法
摘要:
本申请提供一种探针卡及探针卡制造方法,应用于半导体测试技术领域,探针卡包括:印刷电路板、基板、插座、探针和加固件;基板包括多个基板模块,插座包括多个插座模块,加固件分别设置有插座模块的安装槽和基板模块的安装孔,基板模块和插座模块一一对应地设置于加固件上,探针安装在基板模块上,加固件安装在印刷电路板上。通过将探针卡的基板和插座均进行模块化设置,并通过加固件完成组装,探针卡的位置度和平整度更好控制,降低了探针焊接难度,提高了探针焊接效率和良率,能够提高探针卡生产效率,并且可以提高探针卡的生产良品率,降低了探针卡的维护难度和成本,基板模块和插座模块均可以单个替换。
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