发明公开
- 专利标题: 氮化镓集成功率芯片及其制造方法
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申请号: CN202310232589.7申请日: 2023-02-28
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公开(公告)号: CN116230714A公开(公告)日: 2023-06-06
- 发明人: 黎杰 , 庞振江 , 洪海敏 , 温雷 , 卜小松 , 葛俊雄
- 申请人: 深圳市国电科技通信有限公司 , 深圳智芯微电子科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区华联工业区13栋1层;
- 专利权人: 深圳市国电科技通信有限公司,深圳智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市国电科技通信有限公司,深圳智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区华联工业区13栋1层;
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 欧阳高凤
- 主分类号: H01L27/07
- IPC分类号: H01L27/07 ; H01L21/82 ; H01L29/78 ; H01L29/778 ; H01L23/373 ; H01L23/31 ; H01L23/29 ; H01L23/15
摘要:
本发明公开了一种氮化镓集成功率芯片及其制造方法。氮化镓集成功率芯片包括基板、设置在基板上的共源共栅级联结构、金属片和塑封料。共源共栅级联结构包括氮化镓晶体管和硅晶体管,氮化镓晶体管的源极与硅晶体管的漏极连接,氮化镓晶体管的栅极与硅晶体管的源极连接。金属片与氮化镓晶体管和/或硅晶体管连接。塑封料包封共源共栅级联结构,金属片暴露于塑封料外以用于散热。本发明的技术方案中,金属片与氮化镓晶体管和/或硅晶体管连接,通过金属片暴露于塑封料外可以进行散热,减少传热路径,使得氮化镓集成功率芯片的散热能力极大地提高,增强氮化镓集成功率芯片的可靠性。
IPC分类: