本发明公开一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置，包括鼓泡汽化器、气液分离器，还包括膜层单元、控制系统，所述鼓泡汽化器上连接有三氯氢硅进料管线和氢气进料管线，分别用于通入三氯氢硅液体和氢气，所述膜层单元设于所述鼓泡汽化器内，用于使氢气在鼓泡汽化器中的三氯氢硅液体内产生纳微气泡；所述控制系统，用于跟踪鼓泡汽化器的液位变化及三氯氢硅液体的进料流量变化对三氯氢硅液体的进料流量进行调节，以及，按照预设的三氯氢硅液体进料流量与氢气进料流量的比例，对氢气的进料流量进行调节，从而准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料流量及其进料比例。本发明能够降低能耗，准确控制三氯氢硅气体与氢气的进料量及其进料比例。