发明公开
- 专利标题: 基于分裂环图案化晶膜阵列的制备方法及溶液定向传输方法
-
申请号: CN202211099422.X申请日: 2022-09-09
-
公开(公告)号: CN116288644A公开(公告)日: 2023-06-23
- 发明人: 巫金波 , 石博日 , 王萍阳 , 薛厂 , 张萌颖 , 温维佳
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 代理机构: 北京华创智道知识产权代理事务所
- 代理商 彭随丽
- 主分类号: C30B7/06
- IPC分类号: C30B7/06 ; B05D5/00 ; B05D7/24 ; C23C14/24 ; C23C14/58 ; C23C14/12 ; C30B29/12
摘要:
本发明提供一种基于分裂环图案化晶膜阵列的制备方法及一种基于分裂环图案的溶液定向传输方法。制备方法包括:步骤1:提供衬底;步骤2:在衬底上通过蒸镀形成疏液层;步骤3:使用脉冲激光刻蚀疏液层,在疏液层上形成分裂环阵列结构的亲液图案;步骤4:将配置好的可通过溶液法生长晶体的溶液涂布在疏液层上,经过两次去润湿过程,实现各个分裂环单元上的液滴向分裂环内部的定向传输,最终在各个分裂环单元内形成分裂环状微液滴;步骤5:对衬底进行加热,形成致密的基于分裂环图案化晶膜阵列。本发明通过溶液法高通量低消耗地合成出具有高致密度的分裂环型薄膜阵列,工艺简单,成本低廉,并且成膜质量高。
IPC分类: