一种多态相边界动态随机存储器件及其制备方法
摘要:
本发明提供一种多态相边界动态随机存储器件及其制备方法,包括接入晶体管、公用底电极、若干个顶电极,公用底电极上设有MPB氧化铪基介电层,顶电极沿着竖直方向依次设置,MPB氧化铪基介电层设置在公用底电极和顶电极之间;公用底电极、MPB氧化铪基介电层以及一个顶电极构成一个MPB氧化铪基电容,多个MPB氧化铪基电容垂直堆叠。本发明针对集成电路产业的海量信息存算需求,以及“1T‑1C”DRAM随特征尺寸持续缩放的存储窗口和电荷信号密度,提供一种多态相边界动态随机存储器件及其制备方法,通过多态相边界材料的超高介电特性,显著提升DRAM电荷信号密度并支撑多值存储及存算融合DRAM应用,以满足后摩尔时代集成电路对于信息密度与功能的升级需求。
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