碳化硅籽晶粘接装置和方法
摘要:
本发明提供了一种碳化硅籽晶粘接装置和方法,涉及碳化硅晶体生长技术领域,该碳化硅籽晶粘接装置包括坩埚、籽晶支架、籽晶载具和加热装置,籽晶支架设置在坩埚内;籽晶载具设置在坩埚的顶端,用于与籽晶的表面间隔相对设置,并形成粘接沉积间隙;加热装置设置在坩埚的周缘,其中,籽晶支架与坩埚的内侧壁之间形成有原料容纳腔,原料容纳腔连通至粘接沉积间隙,并容纳有粘接原材料,粘接原材料用于在加热到预设温度后升华,并沉积在粘接沉积间隙中,以使籽晶和籽晶粘接面粘接在一起。相较于现有技术,本发明通过沉积的方式实现籽晶的粘接,粘接均匀性更好,并且沉积方式可以使得粘接效果更好,籽晶的位置可控性更好,有利于提升晶体生长质量。
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