本发明公开了一种碳化硅晶片剥离装置和方法。碳化硅晶片剥离装置，包括：剥离单元和控制单元；剥离单元，包括：顶升部，适于利用顶升力将碳化硅晶片从晶锭中进行剥离；缓冲部，与顶升部固接，适于在顶升部的顶升力达到预设值时，在顶升部与碳化硅晶片之间形成缓冲；驱动部，与缓冲部固接，适于驱动缓冲部和顶升部靠近或远离碳化硅晶片；控制单元，与驱动部电信连接，适于控制驱动部启动或关闭。该装置在顶升部的顶升力达到预设值时，通过缓冲部在顶升部与碳化硅晶片之间形成缓冲，达到保护晶片的目的，减少碳化硅晶片剥离时破片率较高的问题。