发明公开
- 专利标题: 一种基于激光线扫双目成像的光学检测装置及检测方法
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申请号: CN202310358548.2申请日: 2023-03-27
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公开(公告)号: CN116380912A公开(公告)日: 2023-07-04
- 发明人: 罗建华 , 师晓科 , 刘怀志 , 刘佳华 , 何李超 , 杨佳锋
- 申请人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402
- 专利权人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华拓半导体技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402
- 代理机构: 深圳市君胜知识产权代理事务所
- 代理商 谢松
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88 ; G01N21/01 ; G01B11/24 ; B07C5/342 ; B07C5/36
摘要:
本发明公开了一种基于激光线扫双目成像的光学检测装置及检测方法,检测装置包括:主体结构,设有第一路通道、第二路通道和主路通道;主相机组件,设于所述主路通道;第一相机组件,设于所述第一路通道;第二相机组件,设于所述第二路通道;光源组件,与所述主体结构连接;第一线激光器,与所述主体结构连接;第二线激光器,与所述主体结构连接。本发明通过对被测物进行两组双目视觉检测,然后通过第一线激光器和第二线激光器对被测物进行激光线扫,并在检测过程中启动光源组件对半导体芯片进行照明,实现对不同形貌和材质的半导体芯片的检测,且减少因半导体芯片形貌和材质导致的特征少检和漏检的情况,提高芯片检测的良品率的准确性。