一种大颗粒SiC料合成装置以及工艺
摘要:
本发明提供了一种大颗粒SiC料合成装置及工艺,属于SiC制备技术领域,包括坩埚和载体组件。所述坩埚具有盛放硅粉、碳粉的空腔,所述载体组件包括由石墨材料形成的固定部和载体部,所述固定部与所述坩埚的开口相适配,且所述固定部沿所述空腔的方向开设有孔槽,所述载体部悬挂至所述孔槽,并向所述空腔内的硅粉、碳粉进行延伸。该装置能够配合本工艺得到>3mm的SiC颗粒(一般不低于40%),具体的,在本工艺条件下,部分颗粒尺寸还可达6mm以上,其中,>3mm颗粒占比可以达到70%,因此有效的改善SiC粉料的粒径影响生长气氛中的Si/C比以及生长的速度。
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