发明授权
- 专利标题: 一种大颗粒SiC料合成装置以及工艺
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申请号: CN202310658082.8申请日: 2023-06-06
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公开(公告)号: CN116393044B公开(公告)日: 2023-09-08
- 发明人: 曹建伟 , 盛永江 , 欧阳鹏根 , 李荣臻 , 胡建荣 , 汪传勇 , 黄俊
- 申请人: 内蒙古晶环电子材料有限公司 , 宁夏创盛新材料科技有限公司 , 浙江晶瑞电子材料有限公司
- 申请人地址: 内蒙古自治区呼和浩特市金桥经济开发区工业二区宝力尔街; ;
- 专利权人: 内蒙古晶环电子材料有限公司,宁夏创盛新材料科技有限公司,浙江晶瑞电子材料有限公司
- 当前专利权人: 内蒙古晶环电子材料有限公司,宁夏创盛新材料科技有限公司,浙江晶瑞电子材料有限公司
- 当前专利权人地址: 内蒙古自治区呼和浩特市金桥经济开发区工业二区宝力尔街; ;
- 代理机构: 呼和浩特市盛联专利代理事务所
- 代理商 杨方
- 主分类号: B01J6/00
- IPC分类号: B01J6/00 ; C30B29/36 ; C30B23/00 ; B01J19/24 ; C01B32/984
摘要:
本发明提供了一种大颗粒SiC料合成装置及工艺,属于SiC制备技术领域,包括坩埚和载体组件。所述坩埚具有盛放硅粉、碳粉的空腔,所述载体组件包括由石墨材料形成的固定部和载体部,所述固定部与所述坩埚的开口相适配,且所述固定部沿所述空腔的方向开设有孔槽,所述载体部悬挂至所述孔槽,并向所述空腔内的硅粉、碳粉进行延伸。该装置能够配合本工艺得到>3mm的SiC颗粒(一般不低于40%),具体的,在本工艺条件下,部分颗粒尺寸还可达6mm以上,其中,>3mm颗粒占比可以达到70%,因此有效的改善SiC粉料的粒径影响生长气氛中的Si/C比以及生长的速度。
公开/授权文献
- CN116393044A 一种大颗粒(3mm)SiC料合成装置及工艺 公开/授权日:2023-07-07