发明公开
- 专利标题: 一种TOPCon电池及其制备方法
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申请号: CN202310479512.X申请日: 2023-04-28
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公开(公告)号: CN116404069A公开(公告)日: 2023-07-07
- 发明人: 潘明翠 , 马红娜 , 赵学玲 , 翟金叶 , 李英叶 , 王红芳 , 郎芳 , 孟庆超 , 史金超 , 夏新中
- 申请人: 英利能源发展有限公司 , 英利能源发展(保定)有限公司
- 申请人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室;
- 专利权人: 英利能源发展有限公司,英利能源发展(保定)有限公司
- 当前专利权人: 英利能源发展有限公司,英利能源发展(保定)有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室;
- 代理机构: 河北国维致远知识产权代理有限公司
- 代理商 任青
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/068
摘要:
本发明公开一种TOPCon电池及其制备方法。将硅片双面抛光后,在硅片背面依次生长隧穿氧化层和多晶硅层,然后依次进行磷扩散、去除正面绕镀、制背面掩膜、制绒、硼扩散、去除背面掩膜后,在硅片正面生长氧化铝层,再在硅片的正面和背面生长氮化硅层,印刷烧结,得TOPCon电池;硼扩散的温度为850‑950℃,时间为2400s‑4500s。本发明提供的TOPCon电池的制备方法,通过改变硼扩散工序的顺序,以及在硅片背面制掩膜后进行制绒和硼扩散的工艺,有效降低了清洗绕镀层的难度,降低了清洗绕镀层的时间和清洗化学品的消耗量,显著提高了TOPCon电池的生产效率,有效降低了生产成本,减少了清洗废液的产生。
IPC分类: