带径向温度测量的长晶炉
摘要:
本发明的实施例提供了一种带径向温度测量的长晶炉,涉及长晶炉技术领域。带径向温度测量的外腔体顶部设置有第一视窗;内腔体设置在外腔体的内部,内腔体的顶部设置有第二视窗;坩埚设置在内腔体的内部;顶部加热器安装在内腔体的内部、且位于坩埚的上方,顶部加热器上具有镂空区域;径向驱动机构设置在外腔体的外部,红外测温仪安装在径向驱动机构上,径向驱动机构用于驱动红外测温仪沿坩埚的径向移动;其中,红外测温仪发出的红外线依次穿过第一视窗、第二视窗和镂空区域,照射到坩埚的顶面。带径向温度测量的长晶炉能够测得坩埚顶面全面积的温度分布情况,以便于精准控制顶部加热器对坩埚的加热效率。
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