发明公开
CN116446038A 带径向温度测量的长晶炉
无效 - 驳回
- 专利标题: 带径向温度测量的长晶炉
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申请号: CN202310280019.5申请日: 2023-03-21
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公开(公告)号: CN116446038A公开(公告)日: 2023-07-18
- 发明人: 袁刚俊 , 苏兆鸣
- 申请人: 通威微电子有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- 专利权人: 通威微电子有限公司
- 当前专利权人: 通威微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 黄燕
- 主分类号: C30B23/00
- IPC分类号: C30B23/00 ; C30B29/36 ; F27D21/00 ; C30B28/12
摘要:
本发明的实施例提供了一种带径向温度测量的长晶炉,涉及长晶炉技术领域。带径向温度测量的外腔体顶部设置有第一视窗;内腔体设置在外腔体的内部,内腔体的顶部设置有第二视窗;坩埚设置在内腔体的内部;顶部加热器安装在内腔体的内部、且位于坩埚的上方,顶部加热器上具有镂空区域;径向驱动机构设置在外腔体的外部,红外测温仪安装在径向驱动机构上,径向驱动机构用于驱动红外测温仪沿坩埚的径向移动;其中,红外测温仪发出的红外线依次穿过第一视窗、第二视窗和镂空区域,照射到坩埚的顶面。带径向温度测量的长晶炉能够测得坩埚顶面全面积的温度分布情况,以便于精准控制顶部加热器对坩埚的加热效率。