一种单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法，复合传感器包括通过硅基垂直互连集成的MEMS压力传感器和MEMS加速度传感器，二者分别布置在硅基相背的工作面上；MEMS压力传感器为压阻式传感器，包括一个多翼型敏感膜，多翼型敏感膜形成于所述硅基的上表面，多翼型敏感膜的表面形成有半岛结构、孤岛结构及中央凸台结构，半岛结构的上表面均设置一个第一压阻器件；MEMS加速度传感器包括设置于所述硅基下表面的多悬臂梁结构，多悬臂梁结构包括多个悬臂梁和一个中央质量块；悬臂梁上设置第二压阻器件。本发明不仅能够解决现有微机械复合压力传感器灵敏度低、集成度低的问题，而且制备工艺更合理，通用性更强。