公开(公告)号：CN114217094B

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202111531486.8

申请日：2021-12-14

Applicant: 安徽大学

Inventor： 郭小辉 ,  邵爽 ,  金程超 ,  柳天琪 ,  王思亮 ,  曾玮 ,  杨利霞 ,  许耀华 ,  黄志祥

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。

公开(公告)号：CN114217094A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202111531486.8

申请日：2021-12-14

Applicant: 安徽大学

Inventor： 郭小辉 ,  邵爽 ,  金程超 ,  柳天琪 ,  王思亮 ,  曾玮 ,  杨利霞 ,  许耀华 ,  黄志祥

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明公开了一种新型MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。

公开(公告)号：CN116462153A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310610556.1

申请日：2023-05-29

Applicant: 安徽大学

Inventor： 闫子豪 ,  张馨怡 ,  张安琪 ,  张慧珊 ,  李相辉 ,  许琪 ,  柏苏 ,  廖冬志 ,  杨金阳 ,  邵爽 ,  洪炜强 ,  郭小辉

IPC: B81B7/02 ,  G01D21/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 一种单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法，复合传感器包括通过硅基垂直互连集成的MEMS压力传感器和MEMS加速度传感器，二者分别布置在硅基相背的工作面上；MEMS压力传感器为压阻式传感器，包括一个多翼型敏感膜，多翼型敏感膜形成于所述硅基的上表面，多翼型敏感膜的表面形成有半岛结构、孤岛结构及中央凸台结构，半岛结构的上表面均设置一个第一压阻器件；MEMS加速度传感器包括设置于所述硅基下表面的多悬臂梁结构，多悬臂梁结构包括多个悬臂梁和一个中央质量块；悬臂梁上设置第二压阻器件。本发明不仅能够解决现有微机械复合压力传感器灵敏度低、集成度低的问题，而且制备工艺更合理，通用性更强。